Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9120561 à vendre en France
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ID: 9120561
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1986
Profilometer, 6"
Manuals included
Power supply: 115 V, 60 Hz
1986 vintage.
L'équipement VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 Wafer Testing and Metrology est conçu pour fournir les résultats de mesure les plus précis avec le débit le plus efficace. Ce système est hautement automatisé, fiable et a une courte courbe d'apprentissage pour fonctionner, il est donc adapté à tout processus de fabrication de semi-conducteurs. L'unité est un moniteur de profil de surface entièrement contrôlé par ordinateur et une unité de jauge d'épaisseur qui permet une analyse de surface 3D précise et une analyse de trace de précision. Il dispose d'une tête de balayage motorisée programmable ainsi que d'un contrôleur programmable. Il est équipé d'une caméra CCD haute résolution qui permet une mesure optique directe de la surface de la plaquette, offrant une précision et une précision exceptionnelles. VEECO DEKTAK 3030 est capable d'effectuer des mesures de profil sur des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre et 2,5 mm d'épaisseur. Il utilise une combinaison d'interférométrie laser, d'imagerie de capacité et de diffusion de la lumière à courant continu pour mesurer avec précision le profil de surface, la topographie et l'écart de profil par rapport à la surface nominale spécifiée de la plaquette. Il peut également être utilisé pour obtenir des mesures de répétabilité sur des paramètres de profil essentiels tels que la courbure, la hauteur de pas, ou d'autres. SLOAN DEKTAK 3030 est bien adapté à une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs, y compris des procédés d'oxyde, d'implant ou de diffusion. Il est capable de mesurer le profil de surface sur une variété de plaquettes, y compris le silicium, l'arséniure de gallium et d'autres matériaux d'alliage. De plus, le DEKTAK 3030 est capable de mesurer la topographie de surface 3D à un niveau de précision nanométrique (1 nm) et fournit des limites de détection de contamination de 0,01 nm. Outre la précision et la précision exceptionnelles de la machine de mesure VEECO/SLOAN DEKTAK 3030, le logiciel qui accompagne l'outil simplifie le processus de reporting de données par l'intégration avec des capacités d'analyse statistique telles que des cartes de contrôle de processus et des archives de résultats consultables. Le logiciel vous permet également d'accéder aux données de mesure à distance, ce qui vous permet de partager facilement les résultats avec d'autres utilisateurs. VEECO DEKTAK 3030 est un atout idéal tant pour les opérations de production à grande échelle que pour les petits laboratoires de recherche et développement. Sa fonctionnalité complète, sa précision exquise et son logiciel convivial en font un outil inestimable pour évaluer les besoins en matière de tests de wafer et de métrologie.
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