Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9175618
Taille de la plaquette: 6"
Stylus profiler, 6"
Step height measurement range:
Maximum: 100 kÅ
Minimum: 1310 Å
Radius: 12.50 Micron
Controller type: Microprocessor controller
Measuring range: 100Å to 1310kÅ
Scan speed range: Low, medium, high
Vertical resolution:
1Å In the 65kÅ range
10Å In the 655kÅ range
20Å In the 1310kÅ range
Data points per micron: 0.04 - 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling
Stylus: 12.5 Micron, diamond
Maximum sample thickness: 1.75"
Sample stage diameter: 7"
Sample stage translation:
Manual:
X Axis: 6"
Y Axis: 3"
Zoom range: 35x-200x
Power requirements:
110 / 120 V
50 / 60 HZ
1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 est un système de test et de métrologie des plaquettes de quatrième génération conçu pour le contrôle de la qualité dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. L'unité est équipée d'une sonde 3D stylet sans contact qui est capable de profiler la taille et la forme des caractéristiques sur la surface de la plaquette tout en mesurant la hauteur ou la profondeur de ces caractéristiques. VEECO DEKTAK 3030 est équipé d'un étage pouvant accueillir jusqu'à 8 "de wafers de diamètre, ainsi que d'un échange rapide de substrat avec une conception double navette. SLOAN DEKTAK 3030 stylet sans contact peut se déplacer sur la surface de la plaquette avec une précision de 0,0003 pouces, tout en donnant aux utilisateurs la possibilité de reconnaître automatiquement toutes les caractéristiques de conception qui ne sont pas dans une tolérance prédéterminée. L'unité dispose d'une interface logicielle intuitive guidée par menu pour un fonctionnement facile et une configuration rapide. Le logiciel prend également en charge les superpositions de données graphiques pour offrir aux utilisateurs une meilleure visibilité sur les données de profil. En outre, DEKTAK 3030 peut stocker jusqu'à 1 000 profils d'échantillons et jusqu'à 99 recettes de mesure pour la gestion des défauts spécifiques au type de plaquette. L'unité est équipée d'une multitude de caractéristiques supplémentaires, telles que l'isolation des vibrations pour réduire le bruit de la table d'échantillonnage, le pré-alignement mécanique à l'aide de trous de papier ou de fiduciaires pour localiser la plaquette, et un roulement à air à haut rendement pour garantir un mouvement à faible frottement. Offrant une vitesse et une précision exemplaires, VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 est une solution fiable, économique et précise pour les essais de plaquettes spécialisées et la métrologie.
Il n'y a pas encore de critiques