Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9245279 à vendre en France

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 est un équipement automatisé de contrôle et de métrologie des plaquettes de précision développé par VEECO Corporation. La série VEECO DEKTAK 3030 fournit des mesures précises des films ultra-minces, des dimensions critiques et des structures multicouches. Avec une précision de résolution sous-angulaire et une portée de mesure allant jusqu'à 30 mm, la série SLOAN DEKTAK 3030 est un outil précieux dans le développement des MEMS (systèmes micro-électromécaniques) et des nanotechnologies. DEKTAK 3030 se compose d'un contrôleur, d'un système d'entraînement, d'une sonde et d'un étage. Le contrôleur est une unité à microprocesseur qui fournit une interface utilisateur graphique intuitive (UI) pour accéder, contrôler et afficher les paramètres du processus. La machine d'entraînement se compose d'un réseau de moteurs linéaires et rotatifs qui fournissent un contrôle précis du mouvement, la stabilité et la répétabilité. La sonde de la plaquette utilise la technologie de la capacité et du laser pour surveiller et mesurer les propriétés de surface de l'échantillon en mode contact ou sans contact. L'outil d'étape fournit une capacité programmable de balayage et de traversée d'échantillons à l'aide d'une combinaison de moteurs mécaniques, piézoélectriques et de bobines vocales. Les principales applications de la série VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 sont la mesure de la rugosité de surface, de la contrainte et de l'épaisseur des plaquettes, ainsi que la dimension critique (CD) des caractéristiques structurées et la position des composants microélectroniques. L'actif est très précis et offre une répétabilité inférieure à 0,2 Angströms (A) pour les mesures de rugosité et de CD et 0,5 A pour la mesure de profondeur. La série VEECO DEKTAK 3030 propose une variété d'outils de métrologie automatisés pour répondre aux exigences sophistiquées de l'évaluation des appareils IC, MEMS et nanométriques. Il fournit diverses stratégies de balayage pour faciliter l'alignement et le positionnement des motifs de test. L'architecture du modèle est optimisée pour faciliter l'évolutivité, la précision et la flexibilité. Il prend en charge la surveillance des données en temps réel et le fonctionnement automatisé avec l'enregistrement des données. Le logiciel embarqué évolutif permet une programmabilité facile de la fonctionnalité de l'équipement. Le système prend en charge des fonctions telles que l'imagerie haute résolution, la vitesse et la précision des mesures, le mode sans contact, la détection de capacités sans contact et l'option intégrée AFM (Atomic Force Microscopy) et STM (Scanning Tunnel Microscopy). Dans l'ensemble, la série SLOAN DEKTAK 3030 est une unité de métrologie avancée qui offre des niveaux élevés de précision et de flexibilité pour un large éventail d'applications. En fournissant des tests de plaquettes complets et fiables et la métrologie, la machine réduit considérablement le temps et le coût de développement du produit, assurant un haut degré de précision et de répétabilité.