Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9378636 à vendre en France
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ID: 9378636
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Profilometer, 8"
1999 vintage.
L'équipement VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST d'essai de plaquettes et de métrologie est un profileur de surface de haute précision conçu pour manipuler et tester une variété d'échantillons de plaquettes provenant de divers procédés de semi-conducteurs. Ce système est doté d'un design innovant pour faciliter l'essai de diverses structures cristallines, y compris le silicium, le silicium polycristallin, les matériaux épitaxiés, les nitrures, les oxydes et d'autres matériaux semi-conducteurs. La conception intègre une tête de détection avancée pour la surveillance et la réponse au profil de surface d'une plaquette qui se déplace à travers l'unité. VEECO DEKTAK 3ST est une machine mécanique articulée qui comprend un portique de support en aluminium qui abrite les capteurs, les bras mobiles, l'électronique et d'autres éléments de support. Le portique est positionné sur un berceau à quartz, qui est monté sur un cadre en acier inoxydable. Le cadre de base supporte également un actionneur moteur. Ce moteur est chargé de déplacer le portique d'aluminium via des rails coulissants à travers le bain de quartz. Le kit fournit un contrôleur multi-axes, qui permet à l'utilisateur de régler la position du portique, la sensibilité de la tête de détection, et la vitesse de la tête de capteur pour mesurer avec précision le profil de surface de différents types de plaquettes. L'instrument est également livré avec une variété d'applications logicielles, permettant aux utilisateurs d'analyser leurs données, calibrer l'instrument, et stocker les données de profil. La conception comprend également une puissante suite logicielle pour l'acquisition et l'analyse automatisées de données. Cette suite logicielle permet aux utilisateurs de stocker et de comparer des profils de plaquettes, de créer des modèles tridimensionnels (3D), d'analyser des données et d'appliquer divers modèles statistiques à leurs données. L'outil comprend également un panneau de contrôle séparé, qui permet à l'utilisateur d'ajuster rapidement divers paramètres d'actifs, tels que la vitesse de la tête de balayage, le niveau de détection de crête, et même les fonctionnalités de zoom. La tête de capteur avancée utilisée par SLOAN DEKTAK 3 ST est capable de fournir des mesures extrêmement précises et multi-sites d'une large gamme de surfaces de plaquettes. Le capteur utilise une combinaison de technologie optique et interférométrique pour mesurer avec précision le profil de surface d'une plaquette donnée. Le modèle est capable de capturer une seule plaque de données avec une résolution de 1 à 6 micromètres. DEKTAK 3 ST fournit également une capacité complète de cartographie des plaquettes, permettant aux utilisateurs de vérifier l'uniformité et les défauts de chaque site dans la plaquette. L'équipement DEKTAK 3ST est un profileur de surface polyvalent et très précis pour mesurer une variété de surfaces de plaquettes. L'instrument dispose d'une gamme de fonctionnalités telles qu'une tête de détection avancée, l'acquisition automatisée de données et une suite logicielle puissante pour permettre aux utilisateurs de mesurer, analyser et stocker le profil de surface de leurs plaquettes ciblées. Grâce à ces outils, les utilisateurs peuvent mesurer avec précision le profil de surface de leurs plaquettes et créer des modèles 3D détaillés et haute résolution de leurs surfaces de plaquettes.
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