Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9006097 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK L'équipement de test et de métrologie des plaquettes 6M est un moyen puissant et efficace de tester et de mesurer la qualité de surface des semi-conducteurs et autres couches minces. Ce système utilise une balance cristalline à quartz avancée pour mesurer des hauteurs d'étapes, des topographies, des profils de surface bidimensionnels et des emplacements de défauts spécifiques sur des échantillons avec une résolution de 0,0668 µm (0,000261 po). La mesure à haute résolution est réalisée par un bilan cristallin en quartz à pont de capacité breveté, qui permet d'obtenir un rendement sonore très faible et une sensibilité élevée, ainsi qu'une excellente répétabilité et une stabilité à long terme. L'unité a une plage de mesure réglable jusqu'à 10 mm (0,394 po) et dispose d'une petite empreinte pour s'adapter à la plupart des paramètres de laboratoire. Il comprend également un isolateur de vibrations intégré pour réduire le niveau de bruit et assurer des mesures précises. L'équilibre cristallin à quartz est construit à partir de matériaux conçus pour résister à la haute température et aux contraintes environnementales sans dégrader la structure cristalline et est évalué pour les mesures jusqu'à 1600 ° C (2912 ° F). La machine est équipée d'un écran tactile LCD graphique haute résolution qui permet une configuration et une navigation faciles pour prendre rapidement des mesures et enregistrer des données. VEECO DEKTAK 6M peut être utilisé pour stocker jusqu'à cinq paramètres dans sa mémoire interne et est équipé d'un port USB pour se connecter à un outil de stockage, d'analyse et de reporting de données. De plus, un actif de purge de l'air sec peut être utilisé pour réduire la corrosion lors de processus à haute température. Le modèle est conçu pour une variété d'applications de métrologie et d'essais de plaquettes, y compris les mesures d'épaisseur de couches minces, la rugosité de surface, l'identification des défauts et l'analyse de la composition. En outre, l'équipement peut être utilisé pour étudier les propriétés électriques des plaquettes avec leur fonction de mesure électrique intégrée. Tous les paramètres de mesure peuvent être gérés par le logiciel SLOAN DEKTAK 6M et peuvent être exportés dans différents formats de fichiers. Ce système polyvalent et puissant est un excellent atout pour tout laboratoire qui a besoin de tests de plaquettes et de métrologie précis et reproductibles.
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