Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9034870 à vendre en France
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ID: 9034870
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2006
Surface profiler, up to 6"
Includes:
Step height repeatability
Low-inertia
Low-noise sensor (LIS 3)
High horizontal and vertical resolution
Uses a 12.5 micron diamond stylus
(2) Stylus tips
Reference thickness gauge
Vibration table
Programmable stylus (down to 1 mg)
Z-Height capability (up to 1 mm)
Up to 30,000 data points per scan
Windows software interface
Specifications:
Performance:
Sample stage diameter: 150 mm (6 in.)
Scan length range: 50 μm to 30 mm
X-Y stage translation: 20 mm x 80 mm
Theta sample positioning: 360°
Vertical data resolution: 1Å max. (@ 65 KÅ range)
Vertical range: 262 μm max. (1 mm optional)
Step height repeatability: 10 Å, 1σ
Data points per scan: 30,000 max.
Sample viewing: 2.6 mm FOV (2.6 mm to 0.5 mm FOV zoom option)
Stylus tip radius: 12.5 μm (std.)
Stylus force range: 1 mg to 15 mg (programmable adjustment)
Stylus sensor: LIS 3 (low-inertia sensor)
Stylus replacement: Quick-Change tool (std.)
System configuration:
Microprocessor: Intel Pentium III (monitor optional)
User interface: Microsoft Windows 98
Interface method: mouse/keyboard
Network card: enables exporting/printing data via local network
Power requirements: 115/220 VAC, 50/60 Hz, 5 A
Optional features:
Printer: color inkjet printer
Stress measurement: calculates tensile/compressive thin-film stress on wafers
Optional Styli: <1 μm to 25 μm radius tips (high-aspect-ratio tips & super-sharp 50 nm
radius tips also available)
Calibration standards: 200 Å to 10 μm step height standards (NIST traceable)
Vibration isolation table: isolates scan head from external noise
Zoom optics: 5 mm to 1 mm FOV
Ceramic vacuum chuck: for small samples
Extended range: increases vertical range to 1 mm
Step detection software: for calculating multiple step measurements
Monitor: 15-inch SVGA monitor or 15-inch flat panel w/stand
Environmental enclosure: Plexiglas shield protects scan head from dust
Standard analytical software:
Roughness parameters: Ra, Rq, Rp, Rv, Rt, Rz, max. Ra, max. dev., skew
Waviness parameters: Wa, Wq, WP, WV, Wt, max. dev.
Step height parameters: avg. step ht., avg. ht., max. peak, max. valley, max. ht.,
peak to valley, high spot count, peak count
Geometry parameters: area, slope, volume, radius, perimeter, bearing ratio
Programmable cutoff filter: conforms to ANSI B46.1
2006 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 6M est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour évaluer l'épaisseur et la hauteur des plaquettes utilisées dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, ainsi que pour d'autres applications. VEECO DEKTAK 6M est un système de mesure automatique, sans contact, capable de scanner jusqu'à 1 400 mm par seconde avec une répétabilité de 0,5 μ m. Il est équipé d'un capteur de capacité très sensible, qui peut mesurer même les plus petites caractéristiques de la surface de la plaquette. L'unité utilise une étape et répète à une vitesse constante, permettant à l'utilisateur de scanner rapidement une plaquette pour analyser des caractéristiques complexes. SLOAN DEKTAK 6M est également équipé d'une machine de réglage automatique qui assure la collecte et le traitement fiables des données. L'outil peut être utilisé pour mesurer simultanément la hauteur et l'épaisseur des plaquettes. DEKTAK 6M utilise une conception de mécanisme de verrouillage à deux bras pour s'assurer que la plaquette reste sur la scène pendant tout le processus de mesure, et l'actif peut traiter presque n'importe quel type de matériau à des vitesses élevées. De plus, VEECO/SLOAN DEKTAK 6M prend en charge jusqu'à huit programmes définis par l'utilisateur, qui peuvent être utilisés pour personnaliser la procédure et les paramètres de mesure, tels que la vitesse, la moyenne et le temps de réglage. VEECO DEKTAK 6M est également équipé d'une interface utilisateur robuste qui permet aux chercheurs de personnaliser le modèle selon leurs besoins individuels. L'interface comprend l'auto-étalonnage, la sortie du graphique et le tracé 1-D ou 2-D des données mesurées. Il comprend également plusieurs programmes d'analyse de données, comme la capacité de comparer plusieurs scans, et la capacité d'analyser les données avec un logiciel de contrôle des processus statistiques. Dans l'ensemble, SLOAN DEKTAK 6M est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes élégant et fiable idéal pour tout besoin de recherche ou de production lorsque des mesures microscopiques sont nécessaires. Le système automatisé et sans contact permet des mesures précises, répétables et fiables avec une participation minimale de l'opérateur.
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