Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9105277 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK 6M est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer des surfaces et des couches minces sur des plaquettes semi-conductrices. Ce système offre une combinaison de la microscopie à balayage tunnel (STM) et de la microscopie à force atomique (AFM) pour fournir une caractérisation en profondeur de la surface des plaquettes semi-conductrices. Il est capable de produire des cartes topographiques tridimensionnelles de surfaces de plaquettes avec une résolution au niveau du nanomètre. L'unité VEECO DEKTAK 6M est principalement conçue pour le contrôle de processus dans la production de semi-conducteurs. La machine peut être utilisée pour mesurer et contrôler avec précision l'épaisseur de la couche semi-conductrice pendant le processus de production. Cela permet d'analyser les étapes critiques de contrôle des processus et de s'assurer que la qualité du produit est conforme aux exigences du client. L'outil est également idéal pour la création de métriques de qualité et de normes de documentation dans le processus de production. SLOAN DEKTAK 6M est également capable de surveiller les paramètres des plaquettes tels que la hauteur des marches, la planéité et la topographie. Sa gamme de mesures couvre une variété de paramètres de semi-conducteurs, y compris la lithographie butylique, l'épaisseur des alliages, la résistivité électrique et le diélectrique inter-couches. Les données de mesure obtenues par le modèle peuvent être utilisées pour évaluer l'homogénéité et le contrôle de procédé des couches semi-conductrices. L'équipement DEKTAK 6M est intégré avec une variété de fonctionnalités qui assurent la collecte et l'analyse de données précises et fiables. Il comprend un étage de précision motorisé qui permet le déplacement de précision et le positionnement de la surface de la plaquette. Le système est également intégré à une unité d'enseignement programmable qui permet un fonctionnement efficace et automatise la collecte de données par fréquence pour l'analyse de surface. Pour la collecte de données sans contact, la machine dispose également d'un module semi-conducteur équipé d'un réseau d'émission et d'un outil de balayage laser. VEECO/SLOAN DEKTAK 6M est compatible avec une gamme d'applications logicielles, dont VEECO WaferPro Software, qui fournit des outils puissants de gestion et d'analyse des données. Ce logiciel est conçu pour une manipulation facile des données et peut créer des graphiques 2D ou 3D de données STM ou AFM. Il propose également divers outils de visualisation tels que le tracé transversal et statistique pour une analyse approfondie. Afin d'assurer une performance maximale, le modèle comporte un équipement de surveillance environnementale qui régule la température et l'humidité dans l'environnement d'essai. Cela assure des mesures stables tout au long du processus. VEECO DEKTAK 6M est une solution intégrée de métrologie pour l'essai de plaquettes et la métrologie dans la production de semi-conducteurs. Il offre une combinaison de microscopie à balayage et de microscopie à force atomique pour la caractérisation précise de la surface des plaquettes semi-conductrices. Il offre également des fonctionnalités fiables et robustes telles que des étapes motorisées de précision, un système d'enseignement programmable et une suite logicielle complète pour une gestion et une analyse efficaces des données.
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