Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9234670 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK 8 est un instrument automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour mesurer les paramètres critiques des plaquettes semi-conductrices tels que l'épaisseur, la planéité, l'arc/chaîne, la rugosité de surface et la densité de défauts. Il est doté d'une double tête optique intégrée, d'un équipement de codage de précision à double vitesse variable et d'un Manège II pour la manutention, le positionnement et le balayage automatisés des plaquettes. VEECO DEKTAK 8 offre une grande précision et des mesures répétables, grâce à un algorithme innovant de détection de front et de retour de signal qui s'adapte aux caractéristiques changeantes des plaquettes. Le système dispose également d'un balayage automatisé des wafers basé sur des points de référence, permettant des zones de balayage définies par l'utilisateur au-dessus du point de référence. Pour la mesure de planéité/chaîne, SLOAN DEKTAK 8 utilise un capteur de déplacement laser bidimensionnel de pointe capable de mesurer de très faibles variations d'épaisseur des plaquettes. Il a également la possibilité d'utiliser un étage haut de gamme pour la stabilité et la répétabilité, permettant des mesures extrêmement précises. DEKTAK 8 est également équipé d'un étage motorisé pour déplacer la surface de la plaquette à l'intérieur de la tête optique pour des mesures de rugosité de surface. L'unité est capable de détecter, de mesurer et d'analyser des imperfections de surface de niveau inférieur au micron. Pour l'inspection des défauts, VEECO/SLOAN DEKTAK 8 est équipé d'une caméra CCD haute résolution couplée à une interface autofocus contrôlée par ordinateur, permettant l'imagerie automatisée, l'identification des défauts, l'analyse et la détermination précise de la hauteur. La machine dispose également de la classification automatique des défauts et des capacités de requête de la base de données de défauts. En outre, VEECO DEKTAK 8 est conçu pour une utilisation en salle blanche, utilisant des chambres environnementales spécialement conçues pour réduire la production de particules et offrir une protection maximale contre les contaminants. L'outil intègre également un atout pneumatique pour maintenir une atmosphère dynamique pendant le processus d'essai. SLOAN DEKTAK 8 offre une vaste gamme d'applications logicielles, à la fois pour contrôler le modèle et l'analyse des données. Ces applications comprennent l'étalonnage automatique, l'enregistrement des données, la cartographie des plaquettes, la détection et le signalement des défauts, et bien plus encore. L'instrument offre également un large choix de paramètres définis par l'utilisateur qui peuvent être utilisés pour personnaliser chaque test aux exigences spécifiques de l'appareil. Dans l'ensemble, DEKTAK 8 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme extrêmement sophistiqué qui fournit la plus grande précision et répétabilité pour les mesures de plaquettes semi-conductrices. Le matériel intégré, les logiciels avancés et la protection environnementale supérieure font de VEECO/SLOAN DEKTAK 8 le choix idéal pour la fabrication moderne de semi-conducteurs.
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