Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK I #9018953 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK I est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour un large éventail de besoins de contrôle de processus de semi-conducteurs. Le système est équipé d'un mécanisme de mesure testé de précision qui peut fonctionner dans une plage de températures allant de -35 à 350 ° C L'équipement de test VEECO DEKTAK I dispose d'une table de travail avec deux poignées, deux pattes de vide réglables et deux sélecteurs de hauteur d'étage. Les pattes de vide permettent le contact direct et la manipulation des plaquettes d'échantillons. La configuration des pattes de vide peut être facilement ajustée au besoin, ce qui permet une variété de plaquettes de différentes hauteurs et tailles. SLOAN DEKTAK I offre une gamme complète de cartes de surface de plaquettes optiques avec une mesure d'inclinaison et de plan allant jusqu'à ± 5,0 ° et une résolution de pas de 1nm. Cela permet de capturer les images de surface les plus précises avec une haute résolution pour un contrôle optimal du processus. DEKTAK I dispose également d'une interface d'automatisation intégrée permettant de s'intégrer aux instruments de métrologie de surface, tels qu'un stylo Scratch, un scanner XY et un microscope vidéo. Le stylo Scratch, par exemple, peut être utilisé pour la détection et la caractérisation de surface, tandis que le microscope vidéo peut être utilisé pour l'inspection de micro-défauts. L'unité comprend un porte-échantillon de haute précision à faible force de contact, qui est conçu pour maximiser l'homogénéité thermique de la machine tout en assurant la protection des échantillons. VEECO/SLOAN DEKTAK I comprend également une pointe de focalisation unique, qui permet de régler le foyer de la carte de surface de la plaquette. L'outil VEECO DEKTAK I Wafer Testing and Metrology est également équipé d'un logiciel propriétaire pour contrôler toutes les opérations de l'actif, telles que l'indexation et la mise à l'échelle, la programmation et le test, l'analyse des erreurs et le reporting, ainsi que la production et la gestion de données statistiques. En conclusion, SLOAN DEKTAK I est un modèle très précis et fiable pour les essais de plaquettes et la métrologie, offrant une variété de caractéristiques pour assurer la précision et la précision ultime parmi les différentes gammes de procédés de semi-conducteurs.
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