Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK II #9061099 à vendre en France

VEECO/SLOAN DEKTAK II est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise des techniques de balayage automatisé ou d'imagerie haute résolution pour mesurer les caractéristiques d'une plaquette semi-conductrice, y compris des caractéristiques physiques telles que les largeurs de ligne, les hauteurs de crête et la profondeur de gravure. Le système est capable de mesurer automatiquement la topographie de surface d'une plaquette avec acquisition de données de profil en 2 dimensions. Il peut également mesurer les propriétés physiques de la surface telles que la rugosité, la réflectance et l'adhérence. L'unité utilise une combinaison de sondes optiques et électriques pour mesurer les paramètres électriques des plaquettes telles que la résistance, la capacité et les fuites de courant. Un profilomètre de type stylet est utilisé pour détecter la position des bosses, des crêtes et des vallées. Le stylet est capable de mesurer des caractéristiques et des hauteurs allant jusqu'à cinq micromètres avec une résolution de 0,1 micron. Il est équipé d'un microscope à force de contact, avec une capacité de mesure des caractéristiques jusqu'à 0,1 nanomètres. La machine peut également mesurer la planéité, la planéité et la non-uniformité de la surface de la plaquette. Il utilise une caméra CCD ainsi qu'un détecteur de profil de faisceau astigmatique modifié pour visualiser la surface de la plaquette, afin de mesurer d'autres paramètres comme l'angle d'écart de forme, la hauteur du pas et la précision de la pente. La caméra CCD est calibrée et surveillée avec des capteurs de haute précision. L'outil permet également de tester différents procédés de production, en mesurant les effets des techniques de gravure, de dépôt, de nettoyage, de polissage et de dopage. Il offre également la capacité d'effectuer des essais à haute température (jusqu'à 250C) et dans un environnement sous vide. L'utilisateur peut choisir parmi une variété de styles de lignes, de lignes droites et de cercles à des motifs arbitraires. VEECO DEKTAK II est également capable d'effectuer le chargement et le déchargement automatisé des plaquettes. Il est équipé d'un outil de manutention des plaquettes, conçu pour réduire la contamination potentielle, et d'un modèle de manutention robotique pour le chargement et le déchargement automatisés des plaquettes. En outre, l'équipement offre des performances haut de gamme en utilisant des capacités de haute vitesse PPG, ESD, analyse à court terme et essais nominaux. SLOAN DEKTAK II wafer testing and metrology system est un outil utilisé pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de mesurer divers attributs tels que la topographie de surface, les paramètres électriques, la rugosité de surface, la réflectance et l'adhérence. Il offre également des outils avancés tels que la microscopie à force de contact, l'étalonnage des caméras CCD et le chargement et le déchargement automatisés des plaquettes pour une analyse de surface et une métrologie fiables et précises.