Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9018954 à vendre en France

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe offrant des capacités de métrologie sophistiquées pour fournir des données significatives pour la caractérisation des dispositifs semi-conducteurs avancés. Le système est composé de plusieurs composants, dont un étage de plaquette, une unité de focalisation automatique, un microscope optique et un autostage. VEECO DEKTAK IIA dispose d'un étage de plaquettes pouvant accueillir jusqu'à huit plaquettes, offrant jusqu'à dix degrés de liberté pour l'alignement et le positionnement des plaquettes. L'étage peut déplacer les plaquettes selon deux parallèles cartésiens, quatre axes d'inclinaison, deux rotations et deux degrés de suivi de surface. La scène peut également accueillir des plaquettes de 300 mm et 200 mm. La machine de mise au point automatique maintient les plaquettes à moins de 1 μ m de la mise au point optimale tout au long du processus de test. L'autostage permet un placement précis de la plaquette, obtenant une répétabilité qui permet des résultats cohérents. L'outil est équipé d'un microscope optique haute vitesse et haute résolution qui permet des mesures précises des caractéristiques jusqu'à 50 nm. SLOAN DEKTAK IIA mesure la résistivité, la topographie, les dimensions critiques (CD) et les niveaux de recouvrement, les structures des appareils et d'autres paramètres des appareils. C'est de loin l'atout le plus flexible offert par VEECO, offrant un contrôle robuste et des résultats précis dans divers environnements. En outre, le modèle dispose de plusieurs outils logiciels qui améliorent la productivité des utilisateurs. L'équipement permet une collecte et une analyse rapides et précises des étapes avancées du processus. Elle permet d'effectuer des évaluations quantitatives qui permettent de surveiller le rendement des plaquettes, d'identifier les zones de dispositifs reproductibles et de fournir une rétroaction précieuse sur le développement des processus. En outre, DEKTAK IIA est compatible avec les outils d'inspection ebeam et X, permettant aux fabricants de mesurer avec précision différentes structures sur la plaquette. En résumé, VEECO/SLOAN DEKTAK IIA est un système polyvalent de test et de métrologie de plaquettes qui offre des capacités sophistiquées pour fournir des données cruciales pour la caractérisation des dispositifs semi-conducteurs avancés. L'unité est équipée d'un microscope optique haute vitesse et haute résolution, permettant de mesurer des caractéristiques avec une résolution de 50 nm. Il fournit une collecte et une analyse rapides et précises d'une grande variété de paramètres de l'appareil. En outre, ses outils logiciels uniques améliorent la productivité des utilisateurs et permettent des évaluations quantitatives qui peuvent être utilisées pour surveiller les rendements des plaquettes et donc augmenter les profits.