Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9061410 à vendre en France
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VEECO/SLOAN DEKTAK IIA est un équipement automatisé d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour la métrologie de la plus haute précision des matériaux semi-conducteurs. Il offre une précision de mesure maximale pour mesurer la dimension critique (CD), l'alignement de superposition, la profondeur de profil, les propriétés de métrologie et le profilage de surface des couches diélectriques et métalliques. Le système peut mesurer le CD de 1,5 nm à 0,5 µm. VEECO DEKTAK IIA dispose d'une grande plate-forme de traversée qui offre un champ de vision de 13 « x 6 » et une très longue plage d'axes Z pour le balayage et l'évaluation de la plaquette. Il est équipé d'étages piézo-contrôlés haute résolution offrant une précision et une répétabilité maximales. L'unité est équipée de systèmes de détection d'images de champ lumineux et de champ noir, d'une fonction de criblage de la lumière adverse et de plusieurs lasers pour les mesures de ciblage. La machine permet de contrôler la température des étages de plaquettes pour garantir la précision lors de la mesure. Son approche avancée de contrôle par étapes utilise des algorithmes intelligents qui permettent un alignement précis des plaquettes et une vérification de la rectitude. Il dispose également d'un réseau intégré de capteurs et de contrôleurs qui aident à minimiser la contamination de la tête. SLOAN DEKTAK IIA offre un débit élevé, des temps de cycle courts et une précision sur un large éventail d'architectures et d'applications. Il dispose d'un filtre de données numériques et d'un outil de livraison pour traiter et collecter les données de mesure. L'actif permet également la traçabilité automatisée des données pour suivre les données aux fins d'analyse post-processus. DEKTAK IIA offre une excellente précision d'alignement des outils de plaquettes avec ses algorithmes propriétaires de reconnaissance d'image. Le modèle offre une méthodologie d'étalonnage unique dans l'industrie. Il dispose également d'un ensemble complet d'outils logiciels, notamment du matériel statistique, de la reconnaissance des motifs, de l'imagerie et de l'analyse des données, ainsi que d'une série de tests automatisés permettant des mesures répétables. Au total, VEECO/SLOAN DEKTAK IIA est une solution idéale pour le test et la métrologie des semi-conducteurs. Ses capacités de mesure de haute précision, ses algorithmes avancés et son automatisation, et sa gamme complète d'outils logiciels en font un équipement de métrologie fiable et puissant qui peut répondre aux besoins des fabricants modernes de semi-conducteurs.
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