Occasion VEECO / SLOAN DEKTAK SXM #9361063 à vendre en France

VEECO/SLOAN DEKTAK SXM est un équipement d'essai et de métrologie utilisé dans le processus de production de semi-conducteurs. Ce système est idéal pour les mesures de surface sans contact de plaquettes semi-conductrices jusqu'à 300 mm de taille et 10 mm d'épaisseur. L'unité est conçue pour mesurer des caractéristiques critiques telles que la résistivité, l'épaisseur de la couche et d'autres propriétés du matériau, ainsi que des caractéristiques de topographie de surface telles que la profondeur et le rayon. VEECO DEKTAK SXM est un microscope à sonde à balayage (SPM) qui peut mesurer des topographies statiques ou dynamiques à la surface de la plaquette. Les balayages statiques sont utilisés pour visualiser la surface de la plaquette et effectuer des mesures sans contact. Les balayages dynamiques fournissent une image topographique tridimensionnelle (3D) de la surface. Ceci permet une analyse des couches étagées de la surface de la plaquette. La machine SXM mesure plusieurs paramètres tels que la texture de surface, la hauteur des marches, la géométrie des lignes, la rugosité de surface et l'épaisseur du film. Il est capable de mesurer des caractéristiques jusqu'à 300 nanomètres de taille. L'outil peut également mesurer la planéité de surface et d'autres fonctionnalités 2D et 3D. L'actif est équipé d'un moteur d'entraînement à vitesse variable qui permet à la sonde de balayer la surface avec un contrôle précis. La force est réglée entre la sonde et la surface de la plaquette pour optimiser la résolution de la mesure. Pour maximiser la précision des mesures, le modèle comprend un équipement d'étalonnage électrostatique automatisé qui ajuste automatiquement la hauteur de la sonde. Le système SXM est conçu pour des mesures rapides, fiables et précises des caractéristiques de surface sans contact. L'unité est capable de mesurer plusieurs échantillons simultanément et peut être utilisée pour mesurer à la fois des surfaces planes et courbes. Il est également équipé d'une variété de logiciels pour le traitement des données, l'amélioration de l'image et l'analyse. La machine a été conçue pour être conviviale et convient à un large éventail d'applications de production.