Occasion VEECO V200-Si #9254651 à vendre en France
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ID: 9254651
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Profilometer, 6"
2D Measurement
Substrate, up to 8"
Probe force range: 0.3-30 mg
Programmable table, 8"
With X, Y: 8" x 8"
Rotation: 360°
Manuals and spare parts included
Camera:
Remote controlled video camera
Zoom lens: 60x - 420x
Scan length: 50 µm to 200 mm
Stage leveling: Automatic
Maximum sample thickness: 45 mm
PC Without storage media
Operating system: Microsoft Windows 3.1
Processor: Pentium core, 8.0 MB RAM
Vertical range: 25 A - 2620 A
Vertical resolution:
1 A / 65 kA
10 A / 655 kA
40 A / 2,620 kA
1997 vintage.
VEECO V200-Si est un instrument de test de plaquettes et de métrologie idéal pour surveiller les caractéristiques des semi-conducteurs pendant le processus de fabrication. Il a été conçu pour traiter les plaquettes frontales et latérales jusqu'à 200mm de taille. L'équipement fournit la précision nécessaire pour mesurer avec précision les concentrations de dopants et les épaisseurs de couches dans un processus de dépôt en couches minces. Le système dispose d'une variété de technologies de détection pour capturer des données sur la surface de la plaquette, y compris la microscopie à force atomique (AFM), les mesures de capacité électrique (ECM) et la spectroscopie de perte d'énergie électronique (EELS). Avec l'option AFM, VEECO V 200SI peut acquérir des informations topographiques de surface ainsi que des images détaillées des caractéristiques de surface. Les systèmes ECM et EELS sont combinés avec l'AFM pour fournir un ensemble complet de mesures qui permettent l'analyse des caractéristiques des plaquettes jusqu'à la résolution au niveau du nanomètre. V200 SI comprend également des logiciels d'analyse et de métrologie, ce qui simplifie le processus d'analyse des données. Ce logiciel permet aux utilisateurs de mesurer et de caractériser rapidement et avec précision les propriétés des films minces. Le logiciel peut également être utilisé pour générer une variété de cartes à deux et trois dimensions pour la graphie des données de processus et le suivi des performances des plaquettes au fil du temps. L'unité est compatible avec une gamme de systèmes de manutention d'échantillons, ce qui facilite l'intégration de DEKTAK V-200 SI dans une ligne de production. L'instrument est également équipé de dispositifs de sécurité et d'étalonnage automatique pour assurer un bon fonctionnement et des résultats cohérents. De plus, VEECO DEKTAK V-200 SI peut être utilisé à distance, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les paramètres et les paramètres sans avoir à être dans le laboratoire. En résumé, VEECO V- 200 SI est une machine d'essai et de métrologie avancée capable de mesurer avec précision les concentrations de dopants, les épaisseurs de couches et les topographies de surface. Il est conçu pour fournir des données fiables pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs, et ses caractéristiques de sécurité, sa compatibilité avec les systèmes de manutention d'échantillons et ses capacités d'exploitation à distance en font l'outil idéal pour les essais de plaquettes et la métrologie.
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