Occasion WYKO / VEECO NT 100628 #9105204 à vendre en France

WYKO/VEECO NT 100628 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de haute précision. Il est conçu pour mesurer une variété de paramètres liés à la fabrication des plaquettes, y compris les niveaux de dopage, la taille de la filière, les hauteurs des marches, les profils de contraintes et d'autres caractéristiques des semi-conducteurs. WYKO utilise une technique brevetée de profilométrie optique sans contact pour déterminer une variété de topographies de surface avec une extrême précision ; il est couplé à un microscope électronique à balayage par émission de champ (FE-SEM), offrant une gamme complète de capacités d'essai et de métrologie propres à la fabrication des plaquettes. Les composants du système comprennent les enceintes environnementales DBA (Data Acquisition Unit) pour WYKO NT 100628, le déphaseur optique, le microscope électronique à balayage par émission de champ (FE-SEM), le balayage vibro-acoustique et divers systèmes de manipulation d'échantillons et d'étages. Pour le déplacement et la manipulation des plaquettes, un positionneur d'axe z est inclus. Cette unité est capable de se déplacer jusqu'à 50 mm dans la direction z, assurant un alignement précis et stable des échantillons lors des essais et des opérations de métrologie. FE-SEM de VEECO NT 100628 offre une résolution et un détail d'image inégalés, soutenus par une multitude de fonctionnalités telles que l'optimisation automatisée des images, le balayage de cartes spectrales (pour améliorer le contraste des images), et une variété de niveaux de courant d'émission. Cette unité est capable de fournir des mesures précises des caractéristiques des plaquettes quels que soient les paramètres du substrat ou la taille des caractéristiques. La machine optique NT 100628 comprend une multitude d'options de balayage pour permettre des profils de hauteur ou de profondeur absolus, l'imagerie en coupe transversale avec contrôle de la profondeur transversale, et le profilage de conception automatisé. VEECO Vibro-Acoustical Scanner (VAS) utilise des algorithmes spécialement développés pour mesurer les caractéristiques morphologiques et les dimensions. WYKO/VEECO NT 100628 dispose également d'un profileur d'épaisseur de couche automatisé (ALTP), qui est utilisé pour mesurer l'épaisseur des couches présentes sur la plaquette. Dans l'ensemble, WYKO NT 100628 est un outil d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme offrant une gamme complète de fonctionnalités pour faciliter l'inspection, l'analyse et la caractérisation précises et fiables des plaquettes de semi-conducteurs. Cette combinaison de technologies de balayage optique, FE-SEM et vibro-acoustique est complétée par une gamme de fonctionnalités automatisées pour simplifier et accélérer l'acquisition et l'analyse des données. VEECO NT 100628 est un atout robuste et fiable conçu pour répondre aux besoins des environnements de production et de recherche de semi-conducteurs les plus exigeants.