Occasion WYKO / VEECO NT 3300 #9304712 à vendre en France
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ID: 9304712
Style Vintage: 2004
Optical 3D surface profiler
Measurement technique:
Optical phase-shifting
White light vertical scanning
Interferometry
Measurement capability:
Three-dimensional
Non-contact
Surface profile measurements
COHU 1100 Analog camera
With digital interface board
Digital swap compatible res for 3300: 6612
Camera array size for 3300: 640 x 480
Upgraded LED for 3300
Objectives: 1.5x, 2x
Measurement array:
Maximum array: 736 x 480
Standard: 1000 x 1000
Light source: Tungsten halogen
Lamp: Automated filter selection
Stages:
Manual: ± 2"
X/Y Translation: 200 mm (± 50.8 mm)
Rotation: ± 90°
Tip / Tilt: ± 6°
Options:
Automated: ± 4" (101.6 mm)
X/Y Translation
Automated R/f
Rotation: 360°
Radius: 4" / 8" (101.6 mm / 203.2 mm)
Tip / Tilt head: Motorized / Automated
Optical assembly:
Integrated
Computer-controlled illuminator
Automated discrete zoom with magnification sensing
Automated stages
Closed-loop precision vertical scanning assembly
RS170 Video display: 230 mm
PC Computer
Processor: Pentium
SVGA Monitor, 17" (430 mm)
Live image stays up on SVGA through measurement
Processor: G5
Computer: Windows XP
(24) Monitors
Advanced analyzer
Stitching
Fast automation
GALIL 4-Axis controller
Stage: 8 x 8
Motorized nosepiece
With objective: 5x, 50x
LED Illumination
Performance:
Vertical measurement range:
Standard: 0.1 nm to 1 mm
Vertical resolution: <1A Ra
RMS Repeatability: <0.01 nm
Scan speed:
Standard: Up to 7.2 µm/sec (288 µin./sec)
Lateral spatial sampling: 0.08 to 13.1 µm
Field of view: 8.24 mm to 0.05 mm
Maximum slope: 25° to 1.8°
Reflectivity: 1% to 100%
Environment:
Temperature range: 15° to 30°C (59°F to 86°F)
Non-condensing humidity range: <80%
Power requirements:
Compressed air: 60 - 100 PSI
Input voltage: 100-120 VAC / 200-240 VAC, 50/60 Hz
Power consumption: <300 W
With stage: <400 W
2004 vintage.
WYKO/VEECO NT 3300 est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour examiner la structure et la qualité des plaquettes et autres matériaux à couches minces. Le système comprend une variété de composants spécialisés, permettant l'analyse de divers types d'échantillons. WYKO NT 3300 peut prendre des mesures avec une précision spatiale et angulaire de 1 μ m et 0,1 ° respectivement, et peut mesurer sur des plaquettes avec des diamètres allant jusqu'à 300 mm. L'unité offre une variété de techniques d'imagerie avancées pour l'inspection des dispositifs à couches minces jusqu'à 50 μ m d'épaisseur. Les options d'imagerie sont basées sur une gamme de caméras de haute précision qui sont capables de capturer des images dans diverses conditions d'éclairage. Par exemple, la machine peut passer d'un champ lumineux à un champ sombre, ce qui permet de détecter des défauts qui pourraient ne pas être visibles autrement. De plus, il est capable de scanner dans des longueurs d'onde non visibles telles que l'ultraviolet et l'infrarouge, offrant une couverture plus complète de la surface de l'échantillon. VEECO NT 3300 dispose d'un microscope haute vitesse et haute résolution. Sa conception comprend une étape de précision motorisée et une technologie de focalisation automatique, permettant aux échantillons d'être rapidement déplacés ou focalisés à un endroit donné. L'outil est également compatible avec une gamme de différentes optiques, donnant aux utilisateurs la possibilité de sélectionner les meilleurs agrandissements pour chaque tâche de mesure et d'imagerie. En plus de ses capacités d'imagerie, NT 3300 dispose d'outils d'analyse avancés, y compris des profilomètres de surface et des outils d'imagerie tridimensionnelle. Les profilomètres mesurent le profil de la topographie de surface avec une très grande précision, ce qui permet à l'utilisateur d'évaluer la finition de la surface, la rugosité et d'autres détails de l'échantillon. Les techniques d'imagerie tridimensionnelle permettent de visualiser les caractéristiques des échantillons dans plusieurs plans axiaux. En conclusion, WYKO/VEECO NT 3300 est un atout puissant et polyvalent pour les essais de plaquettes et la métrologie. Ses outils d'imagerie et d'analyse de précision offrent des informations précises et détaillées sur la structure et la qualité des échantillons, ce qui permet de détecter et d'optimiser les défauts et les problèmes liés aux processus.
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