Occasion WYKO / VEECO NT 9100 M #9208129 à vendre en France

WYKO / VEECO NT 9100 M
ID: 9208129
Optical profiling system.
WYKO/VEECO NT 9100 M est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de précision conçu pour fournir une précision et une précision maximales pour l'analyse de surface sans contact des plaquettes et des structures en couches minces. Ce système utilise une combinaison de plusieurs systèmes, y compris la microscopie optique automatisée (AOM), la microscopie électronique à balayage (SEM) et l'imagerie par capacités (CI) pour fournir une analyse précise de la surface des plaquettes et des structures en couches minces. WYKO NT 9100 M se compose de trois composantes principales ; un étage, une unité d'éclairage et un détecteur. L'étage est capable de supporter des objets jusqu'à 1000 x 1000 mm. Il peut se déplacer de manière linéaire ou rotative et peut être entraîné à des vitesses aussi rapides que 0,02 micromètre par seconde. Cela est nécessaire pour atteindre les niveaux élevés de précision et de précision requis dans les essais de plaquettes et la métrologie. La machine d'éclairage se compose de sources lumineuses visibles ou infrarouges pour fournir un contraste optimal pour l'analyse de surface. Enfin, le détecteur est capable de recueillir des données d'image à partir de la surface éclairée de la plaquette avec une résolution de 0,7 µm et une dynamique de 2 ordres de grandeur avec un SNR > 80 dB. VEECO NT 9100 M peut analyser les surfaces planes et non planaires des plaquettes. L'outil est capable de mesurer l'épaisseur relative, l'adhérence du film, les défauts de surface et la topologie. Il permet également d'identifier la présence de dépôts de TiN à la surface de la plaquette et de mesurer la taille et la profondeur des grains. En outre, l'actif peut mesurer la réflectivité de surface. Toutes ces données sont enregistrées à l'aide d'un modèle de contrôle confocal, qui peut être utilisé pour analyser les données capturées afin d'obtenir des mesures importantes pour le contrôle des processus ou la modélisation. NT 9100 M offre un certain nombre de caractéristiques pour des essais précis de plaquettes et de métrologie. Il peut être utilisé à distance avec un poste de commande dédié, ce qui élimine la nécessité d'être physiquement présent pour analyser les plaquettes et les structures en couches minces. L'équipement de contrôle confocal est sécurisé et entièrement personnalisable, permettant une large gamme de configurations pour répondre aux exigences spécifiques d'une variété d'applications. Enfin, le système offre une gamme d'outils logiciels et de paquets d'analyse qui peuvent être utilisés pour générer des rapports et analyser les données saisies. En résumé, WYKO/VEECO NT 9100 M est une unité d'essai et de métrologie des plaquettes de précision conçue pour l'analyse de surface sans contact des plaquettes et des structures en couches minces. Il utilise une combinaison d'AOM, SEM et CI pour fournir une analyse précise des surfaces des plaquettes. La machine offre des fonctionnalités telles que le mouvement et la personnalisation automatisés des étages, le fonctionnement à distance et une gamme d'outils logiciels et de paquets d'analyse. Toutes ces caractéristiques font de WYKO NT 9100 M un choix idéal pour les applications nécessitant précision et précision dans les essais de plaquettes et la métrologie.
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