Occasion WYKO / VEECO RST #160187 à vendre en France
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ID: 160187
Optical Profiler Interferometer Microscope
TMC 63-222-6501 High-Performance Lab Table
Components Included:
(1) Wyko RST Interferometer Microscope
(1) Wyko Optical Profiler Base w/ 6” x 10⅜” Stage
(1) 0.62X Field Lens
(1) 1.0X Field Lens
(1) 1.5X Field Lens
(1) Alignment Field Lens
(1) RX2.5 Objective Lenses
(1) RX10 Objective Lenses
(1) RX40 Objective Lenses
(1) External Light Source Unit
(1) 37-Pin Wyko Control Box Ribbon Cable
(1) 4’ Fiber Optic Light Source Tube
Included in Light Source Unit:
(1) 90nm-N.D.
(1) 672.2 79nm-B.P.
(1) 462.9nm 73.6nm-B.P
(1) 501.7nm 10.3nm-B.P
Light source: External Wyko Unit
Stage: ±6° tip/tilt, ±90° rotation, ±2 in x,y
Missing one 90° Elbow fitting for vibration dampening system.
L'équipement WYKO/VEECO RST est un système d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour l'inspection et la caractérisation des plaquettes semi-conductrices. Il est capable de fournir une métrologie sans contact des films de plaquettes, interfaces et autres couches avec une grande précision et débit. L'unité utilise un scatteromètre optique avancé et de grande précision pour mesurer les propriétés des plaquettes d'échantillons sans contact. Le scatteromètre optique utilise une combinaison de mesures d'intensité lumineuse réfléchie et de distribution angulaire pour caractériser les films et les surfaces au niveau du nanomètre. En outre, il a la capacité de mesurer des caractéristiques avec une résolution nanométrique. La machine WYKO RST est conçue pour répondre à la demande de cycles de mesure très rapides. Cela rend l'outil très efficace et capable de fournir rapidement des résultats fiables. Cela signifie également que plus de mesures peuvent être prises sur chaque plaquette tout en évitant les retards. Avec sa grande vitesse, VEECO RST offre également une grande précision de mesure et une répétabilité pour des performances fiables. Le modèle comprend des outils logiciels avancés pour fournir une analyse rapide des données, des décisions automatisées de réussite/échec, et des rapports. Toutes les données sont collectées à partir du scatteromètre optique, puis traitées et stockées pour faciliter l'accès et la compréhension. L'équipement RST offre également une large gamme d'options de manipulation d'échantillons pour accélérer les essais. Les étapes robotisées déplacent l'échantillon de manière contrôlée, en les plaçant rapidement et précisément dans la bonne position de mesure. Le chargement et le déchargement automatisés réduisent également le travail manuel et accélèrent le processus global. Le système RST WYKO/VEECO offre des performances flexibles qui peuvent être adaptées aux besoins de chaque utilisateur. La personnalisation complète du logiciel et du matériel a permis à l'unité de fournir des tests et une métrologie fiables. Grâce aux temps de cycle rapides et à l'analyse de données performantes, la machine est idéale pour des applications telles que la métrologie 3D, l'analyse d'images, le contrôle des plaquettes, la caractérisation de surface et la détection des défauts.
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