Occasion WYKO / VEECO RST+ #67577 à vendre en France

WYKO/VEECO RST + est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes pour la caractérisation des plaquettes semi-conductrices. Ce système est conçu pour la mesure des propriétés optiques et électriques du matériau de la plaquette, fournissant des données précieuses pour une analyse plus poussée et la fabrication de l'instrumentation. L'unité se compose d'une unité de métrologie, basée sur la technologie de balayage laser eximer et d'une unité de test, qui utilise la technologie multi-sondes. L'unité de métrologie est capable de mesurer un large éventail de paramètres dont l'orientation cristalline, la texture, la qualité de surface et de bord, l'uniformité d'épaisseur, la réflectivité de surface et la hauteur topographique. Cela peut être fait avec des vitesses de balayage allant jusqu'à 30 mm/sec, tout en obtenant des résultats répétables avec une grande précision ± 2,5 nm (deux sigma). Il est également capable d'imagerie en 3D et de présenter les résultats en vue stéréoscopique. La machine est capable d'inspecter divers types de matériaux, du silicium à l'arséniure de gallium. L'unité de test utilise la technologie multi-sondes pour les tests électriques et optoélectroniques. Cela inclut les caractéristiques électriques d'un large éventail de paramètres, y compris le courant de fuite de grille, la capacité de grille, la capacité grille-drain et le courant de fuite. Ceci peut être effectué avec une précision de ± 0.5fA. De plus, on peut mesurer des caractéristiques optoélectroniques telles que la durée de vie optique et le rapport de mobilité photon-porteur. Avec une vitesse de balayage jusqu'à 30 sonde/s, l'outil est capable d'analyser les propriétés électriques et optiques d'une seule plaquette. L'actif RST + de WYKO fournit des résultats de mesure précis et reproductibles pour les propriétés optiques et électriques du matériau de wafer. Les unités de métrologie et de test sont entièrement automatisées et permettent des mesures rapides, fournissant des données précieuses pour une analyse et une fabrication plus poussées. Le modèle est capable d'analyser une grande variété de différents types de matériaux et a une grande précision dans les paramètres optiques et électriques.