Occasion ACM Ultra C #293758647 à vendre en France

Fabricant
ACM
Modèle
Ultra C
ID: 293758647
Taille de la plaquette: 8"-12"
Wet cleaning system, 8"-12" (4) Loading ports EFEM Aligner and robot Chuck Type: Mechanical Clean chemical: DIO3, SC1, SC2, dHF, F water, IPA (2) Process robots (12) Process chambers SAPS Wafer cleaning system SAPS Mega Sonic: 0-1.5 w/cm² Uniform supersonic power density: WIWNU <2% Particle performance: ≤10 at 30 nm Metal pollution: ≤ 1 x 10^10 atoms/cm² Throughput: 225 WPH (90s recipe) Pre-isolation metal deposition (8) Chambers Nodes shrink: 65 nm - 22 nm Model / Chamber number / Chemicals / Robot number / Throughput SAPS II / 8 (3/2/3) / 3+DI+IPA / 1 / 300 WPH SAPS III / 8 (4/4) / 2+DI / 2 / 350 WPH SAPS V / 12 (3/3/3/3) / 3+DI+IPA / 3 / 600 WPH Drying method: N2 Rotary drying Liquid IPA.
ACM Ultra C est une station humide de pointe qui intègre des technologies et des fonctionnalités de pointe pour fournir des performances efficaces, précises et fiables dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Cette station humide est conçue pour répondre aux exigences croissantes de l'industrie pour une productivité et un rendement élevés tout en assurant une excellente qualité et un contrôle des paramètres de processus. La station humide Ultra C est un outil polyvalent et flexible qui peut être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques des processus et s'adapter aux besoins changeants dans l'environnement de fabrication des semi-conducteurs. La station humide ACM Ultra C est équipée d'une gamme de technologies innovantes qui améliorent ses performances et ses capacités. Une des caractéristiques clés de cette station humide est son équipement d'automatisation avancé, qui permet un contrôle et une surveillance précis des étapes du processus humide. Le système d'automatisation garantit des résultats cohérents et fiables en minimisant les erreurs humaines et la variabilité du processus. Il permet également la surveillance et le contrôle à distance de la station humide, permettant aux opérateurs d'optimiser les paramètres de processus et les problèmes de dépannage en temps réel. Une autre caractéristique importante de la station humide Ultra C est son unité de livraison chimique avancée. Cette machine est conçue pour distribuer avec précision les produits chimiques et les solutions de traitement avec une précision et une répétabilité élevées. Le contrôle précis de la livraison de produits chimiques assure l'uniformité des étapes du processus humide et minimise la variation des résultats, ce qui améliore la fiabilité et le rendement du processus. L'outil de livraison de produits chimiques est équipé de capteurs de pointe et de technologies de surveillance pour détecter et prévenir des problèmes tels que des fuites chimiques ou une distribution inappropriée, assurant la sécurité et l'intégrité du processus. En plus de ses systèmes avancés d'automatisation et de livraison de produits chimiques, la station humide ACM Ultra C est également équipée d'une gamme de technologies de contrôle et de surveillance des processus. Il s'agit notamment de la surveillance en temps réel des paramètres du procédé tels que la température, la pression, les débits et les concentrations chimiques. La station humide est capable de collecter et d'analyser les données de ces capteurs pour optimiser les conditions de processus et détecter les écarts par rapport aux spécifications souhaitées. Ce niveau de contrôle et de surveillance permet aux exploitants de prendre des décisions et des ajustements éclairés afin d'assurer la stabilité et la cohérence des processus. La station humide Ultra C est conçue pour être conviviale et facile à utiliser. Il dispose d'une interface intuitive qui permet aux opérateurs de définir et de surveiller les paramètres du processus, de visualiser les données en temps réel et de résoudre efficacement les problèmes de dépannage. La station humide est également équipée de dispositifs de sécurité intégrés pour protéger les exploitants et l'environnement contre les risques potentiels associés aux procédés chimiques. Ces dispositifs de sécurité comprennent des boutons d'arrêt d'urgence, des capteurs de détection de fuites et des protocoles d'arrêt automatisés en cas de panne critique. Dans l'ensemble, la station humide ACM Ultra C est un outil de pointe qui offre une haute performance, fiabilité et flexibilité dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Ses technologies et fonctionnalités de pointe permettent un contrôle précis, la surveillance et l'automatisation des processus humides, ce qui améliore la productivité, le rendement et la qualité dans la fabrication des semi-conducteurs. Avec son interface conviviale et ses caractéristiques de sécurité robustes, la station humide Ultra C est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à optimiser leurs opérations de traitement humide et à rester en avance dans une industrie compétitive.
Il n'y a pas encore de critiques