Occasion AKRION 9200 / 9200A #9105637 à vendre en France

AKRION 9200 / 9200A
ID: 9105637
Taille de la plaquette: 8"
Wet process system, 8".
AKRION 9200/ 9200A station humide est un équipement de traitement humide de précision et de haute performance conçu pour fournir des solutions de gravure humide et de nettoyage à haute performance pour les dispositifs semi-conducteurs prêts à être produits. Le système utilise une technologie de pointe et un logiciel de contrôle de processus robuste pour obtenir un contrôle de processus serré avec des résultats de haute précision. L'unité comprend plusieurs composants, dont une chambre de traitement humide, un porte-substrat et une unité de traitement de solutions. La chambre de traitement humide est équipée d'éléments de contrôle thermique et de débit évolués, contrôlés numériquement, assurant l'uniformité de la gravure et des résultats propres. En outre, le contrôleur est capable de stocker jusqu'à trente recettes normalisées avec lesquelles les utilisateurs sont en mesure de programmer dans plusieurs paramètres, y compris la température de la solution, le temps de cycle, temps de gravure, temps de rinçage, et plus. Le porte-substrat est chargé de maintenir les substrats en place lors du traitement. Il contient un cadre amovible afin que les utilisateurs puissent facilement insérer plusieurs substrats dans la machine. En outre, le contrôleur contient une variété de fonctions de contrôle de mouvement, y compris la rotation, le mouvement vers l'avant/vers l'arrière, et la durée d'impulsion. La station humide 9200/ 9200A dispose également d'une unité de manutention automatisée avancée pour la livraison et le séchage précis des solutions. Cette unité utilise un ensemble de pompes pour délivrer les solutions de gravure et de rinçage aux supports de substrat, et un ensemble de buses de pulvérisation à ultrasons pour contrôler précisément le débit de la solution. Le logiciel sophistiqué de l'unité assure un suivi et une analyse en temps réel précis des solutions lors de leur introduction dans la chambre. L'outil dispose également d'un actif de mesure d'épaisseur basé sur laser avec analyse intégrée du signal afin que les utilisateurs puissent mesurer précisément l'épaisseur du film avant le traitement. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'optimiser les processus de gravure pour atteindre des épaisseurs cibles précises. Enfin, la station de mouillage AKRION 9200/ 9200A comprend également des mesures de sécurité intégrées pour assurer un fonctionnement sûr. Ces mesures comprennent une fonction d'opto-sécurité qui protège contre les mains qui pénètrent dans la chambre pendant qu'elle est ouverte, ainsi que des capteurs de température et de pression qui alertent les utilisateurs si l'une de ces valeurs est en dehors de leurs paramètres fixés. En résumé, 9200/ 9200A station humide est un modèle de traitement humide de haute performance et de précision conçu pour fournir aux utilisateurs des solutions de gravure et de nettoyage cohérentes pour les dispositifs semi-conducteurs prêts à la production. L'équipement dispose d'un contrôle thermique et de débit robuste, d'un contrôle de mouvement avancé, d'une unité de gestion automatisée des solutions, de mesures d'épaisseur au laser et de dispositifs de sécurité intégrés pour un fonctionnement efficace et sûr.
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