Occasion AKRION AWP #9141985 à vendre en France

AKRION AWP (Advanced Wet Processing) est une station humide conçue par AKRION Systems. Il est conçu pour la fabrication et le traitement de plaquettes de précision dans une variété d'applications semi-conductrices avancées telles que les procédés de front-end-of-line et back-end-of-line (BEOL). AWP dispose d'une ligne de production entièrement automatisée avec une grande empreinte et un haut débit. L'équipement est équipé d'une plate-forme capable de traiter simultanément jusqu'à deux cent vingt-huit (228) fentes de traitement des plaquettes et est extensible à quatre cent cinquante-cinq (455). La conception modulaire de l'ensemble du système offre une efficacité de processus élevée avec un minimum de temps d'arrêt et de retravaillement. La station dispose d'une unité de bras robotique multi-axes qui est utilisée pour le déplacement sans soudure des plaquettes pendant les pré et post-processus. Le bras robotique peut être programmé pour faire tourner les plaquettes d'une position à l'autre et peut contenir jusqu'à cent cinquante-cinq (155) cassettes et/ou supports. La machine est également équipée d'un scanner en ligne pour permettre aux utilisateurs de vérifier en permanence l'uniformité des surfaces des plaquettes. AKRION AWP comprend une chambre de processus équipée d'un logiciel de métrologie avancé qui fournit des mesures et des analyses de haute précision. Le logiciel intégré d'enregistrement des données permet aux utilisateurs de surveiller et de consigner les statistiques de fabrication telles que la température, le débit de gaz et la pression. En outre, la station dispose d'un algorithme intégré d'apprentissage automatique qui peut déterminer avec précision les meilleurs paramètres de processus pour une performance optimale. La station dispose d'un large éventail de capacités de processus humide incluant spin-coating, gravure chimique humide, lithographie, polissage mécanique chimique (CMP) et nettoyage des plaquettes. Il est également équipé d'une gamme de systèmes automatisés de contrôle des processus incluant la surveillance de l'humidité et la détection des vibrations pour un contrôle précis et automatisé des processus. Les algorithmes intégrés de contrôle du processus assurent en outre un fonctionnement très efficace de l'outil. L'actif est capable de traiter un large éventail de paramètres de processus tels que la température, la pression, le débit, l'humidité et les concentrations de gaz. De plus, les systèmes de sécurité intégrés comprennent une soupape de sécurité sensible à la pression pour prévenir les accidents dans un environnement sous pression. Toutes ces fonctionnalités et capacités se combinent pour faire de AWP l'une des solutions de station humide les plus avancées et les plus efficaces sur le marché. Avec sa conception robuste, son haut débit et son contrôle des processus, AKRION AWP est adapté à une large gamme d'applications de pointe telles que la fabrication de dispositifs BEOL et MEMS.