Occasion AKRION AWP #9141996 à vendre en France
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ID: 9141996
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Wet process system, 8"
Install type : Stand alone
Process flow : R -> L
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Parker
Module configuration :
Mod 1 (Process) : DSP
Chem : H2SO4/HF 13:1
Temp : 60°C
Material type : PVDF
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2
Temp : Ambient
Material type : PVDF
Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC)
Material type : PVDF
Mod 3 (Auxiliary) : AUX
Mod 4 (Dryer) : DMG
Marangoni IPA dry
Material type : PVDF
Mod 5 (Buffer) : PP
Mod 6 (Transfer) : Transfer station
Mod 6 (In/Out station) : In/Out
UI, CPU, Monitors
Fire extinguisher system (Control panel)
Chemicals :
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
2001 vintage.
AKRION AWP (Advanced Wet Processing) est une station humide conçue pour la production automatisée de plaquettes. Il est capable d'effectuer diverses tâches de traitement chimique humide, telles que le nettoyage des plaquettes, le traitement de surface, la gravure, le collage et la lithographie. La station AWP contient tous les composants nécessaires au traitement automatisé par voie humide, y compris un porte-plaquettes sur mesure, un bras robotique, un équipement de pesage et un système de gestion des fluides. Le porte-plaquettes est conçu pour maintenir solidement les plaquettes en place pendant le traitement, en veillant à ce qu'elles ne glissent pas ou ne soient pas contaminées. Le bras robotique utilise des mouvements précisément programmés pour placer précisément la plaquette dans la zone de traitement souhaitée de la station. Il peut également être programmé pour mesurer avec précision le volume standard de liquide dans la plaquette. L'unité de pesage est une échelle numérique précise et réactive, qui utilise des algorithmes complexes pour détecter de petits changements dans le poids de la pile de plaquettes mouillées, accélérant le chargement et le déchargement de la station. La machine de gestion des fluides est intégrée à la station pour fournir un flux stable et fiable de liquides aux plaquettes. Il se compose également de deux modules de mélange microfluidique, permettant un dosage chimique précis des matériaux. La station AWP AKRION dispose également d'un certain nombre de contrôles de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs, tels que des planchers de résistance chimique, un outil d'alarme intégré, une clôture de sécurité autour de l'aire de travail et un capot ventilé pour réduire le risque d'exposition aux liquides dangereux et aux vapeurs. De plus, AWP est conçu avec une enceinte résistante à l'eau pour empêcher l'entrée d'eau ou d'autres contaminants dans l'espace de travail. En conclusion, AKRION AWP est une station de traitement humide avancée qui permet une production de plaquettes hautement automatisée et efficace. Sa conception robuste et sûre, son bras robotisé précis et ses moyens de pesage, et son excellent modèle de gestion des fluides en font un équipement exceptionnellement fiable qui peut assumer une grande variété de tâches de traitement chimique par voie humide.
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