Occasion AKRION AWP #9141996 à vendre en France

Fabricant
AKRION
Modèle
AWP
ID: 9141996
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Wet process system, 8" Install type : Stand alone Process flow : R -> L Cassette interface : (2) Tec SEM integrated SMIF (50) Wafer batch loading Robot handler : Parker Module configuration : Mod 1 (Process) : DSP ƒChem : H2SO4/HF 13:1 ƒTemp : 60°C ƒMaterial type : PVDF Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2 ƒTemp : Ambient ƒMaterial type : PVDF Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC) ƒMaterial type : PVDF Mod 3 (Auxiliary) : AUX Mod 4 (Dryer) : DMG ƒMarangoni IPA dry ƒMaterial type : PVDF Mod 5 (Buffer) : PP Mod 6 (Transfer) : Transfer station Mod 6 (In/Out station) : In/Out ƒUI, CPU, Monitors ƒFire extinguisher system (Control panel) Chemicals : H2SO4 (PFA material) HF (PFA material) IPA (SS material) Drains : Main : PVC, 50A Acid : PVC, 50A Alkali : PVC, 50A Industrial : PVC, 50A Reclaim : PVC, 50A Exhaust : Acid : PVC, 100A (Flange) Alkali : PVC, 100A (Flange) Solvent : PVC, 100A (Flange) Safety interlocks : Leakage sensor Temp Over temp Exhaust Sniffer Ultrasonic dry protect Heat exchanger Door sensors Light barrier Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz 2001 vintage.
AKRION AWP (Advanced Wet Processing) est une station humide conçue pour la production automatisée de plaquettes. Il est capable d'effectuer diverses tâches de traitement chimique humide, telles que le nettoyage des plaquettes, le traitement de surface, la gravure, le collage et la lithographie. La station AWP contient tous les composants nécessaires au traitement automatisé par voie humide, y compris un porte-plaquettes sur mesure, un bras robotique, un équipement de pesage et un système de gestion des fluides. Le porte-plaquettes est conçu pour maintenir solidement les plaquettes en place pendant le traitement, en veillant à ce qu'elles ne glissent pas ou ne soient pas contaminées. Le bras robotique utilise des mouvements précisément programmés pour placer précisément la plaquette dans la zone de traitement souhaitée de la station. Il peut également être programmé pour mesurer avec précision le volume standard de liquide dans la plaquette. L'unité de pesage est une échelle numérique précise et réactive, qui utilise des algorithmes complexes pour détecter de petits changements dans le poids de la pile de plaquettes mouillées, accélérant le chargement et le déchargement de la station. La machine de gestion des fluides est intégrée à la station pour fournir un flux stable et fiable de liquides aux plaquettes. Il se compose également de deux modules de mélange microfluidique, permettant un dosage chimique précis des matériaux. La station AWP AKRION dispose également d'un certain nombre de contrôles de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs, tels que des planchers de résistance chimique, un outil d'alarme intégré, une clôture de sécurité autour de l'aire de travail et un capot ventilé pour réduire le risque d'exposition aux liquides dangereux et aux vapeurs. De plus, AWP est conçu avec une enceinte résistante à l'eau pour empêcher l'entrée d'eau ou d'autres contaminants dans l'espace de travail. En conclusion, AKRION AWP est une station de traitement humide avancée qui permet une production de plaquettes hautement automatisée et efficace. Sa conception robuste et sûre, son bras robotisé précis et ses moyens de pesage, et son excellent modèle de gestion des fluides en font un équipement exceptionnellement fiable qui peut assumer une grande variété de tâches de traitement chimique par voie humide.
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