Occasion AKRION GAMA #9047520 à vendre en France
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La station humide AKRION GAMA est un équipement de traitement humide entièrement automatisé et de précision utilisé dans la fabrication de produits semi-conducteurs et microélectroniques. Il peut être utilisé pour effectuer diverses opérations de procédé par voie humide telles que la gravure, le placage, le nettoyage gravure/bande, le polissage chimique-mécanique (CMP) et le descumming. GAMA se compose de plusieurs sous-systèmes, dont une chambre de processus, un plénum, une pompe et un système de distribution. La chambre de procédé est l'unité principale de la station humide, et elle est utilisée pour contrôler les paramètres de processus comme la température et la pression pendant les opérations de processus humide. Le plénum est une chambre qui a une zone de basse pression pour assurer une atmosphère stable et cohérente pour les processus de gravure/passivation. Le plénum utilise des pompes de recirculation pour déplacer et filtrer le gaz et le mélange liquide à travers les processus de la chambre. La machine de pompe absorbe et fait circuler la chimie du liquide pour le processus. L'outil de distribution distribue la chimie du liquide de l'actif de la pompe aux chambres de procédés en utilisant un réseau de tuyauterie fiable. AKRION GAMA modèle de traitement humide contient plusieurs fonctionnalités qui permettent des opérations précises de traitement humide. Il contient un équipement de contrôle de processus humide, avec plusieurs fonctions de traitement préprogrammées, y compris les contrôles de température et de pression, la surveillance chimique et les processus de gravure. Une bibliothèque de recettes permet de configurer facilement les recettes de processus afin de répéter le même processus avec le même résultat. Le système contient également des capacités de diagnostic à distance pour faciliter le dépannage des problèmes de processus. Les paramètres de traitement efficaces sont également faciles à ajuster à l'aide de l'unité de traitement humide GAMA. La température, la pression, le pH et la distribution des gaz sont tous réglables, ce qui permet d'assurer un résultat cohérent et précis pour les opérations de traitement par voie humide. La machine comporte également des caractéristiques particulières telles qu'une configuration de placage ionique, qui permet le dépôt de films métalliques ultra-minces. Pour les processus de gravure, l'outil de traitement par voie humide AKRION GAMA utilise un atout de gravure sans électrochoc pour garantir un processus de gravure juste et précis. Pour le placage, le modèle offre une large gamme d'options de placage, y compris la pulvérisation sous vide, le filage à courant continu et le placage à courant pulsé. L'équipement possède également des capacités de descumming telles que la gravure ionique réactive et le broyage ionique. Dans l'ensemble, le système de traitement par voie humide GAMA est une unité de traitement par voie humide fiable et précise, conçue pour fournir les résultats lithographiques les plus élevés à ses utilisateurs. Il peut être utilisé pour toutes sortes d'opérations de procédé humide, et est capable de répondre aux exigences des produits semi-conducteurs et microélectroniques avancés d'aujourd'hui.
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