Occasion AKRION UP-V2-HL 2000 #19302 à vendre en France
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ID: 19302
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Semiautomatic chrome etch station
With linear robotic transfer
(3) Tanks, 6"
(3) Positions
Robot
Automatic wafer transfer
Automatic wafer transfer type: Robotic
Controller type: PLC Controller type
PLC Controlled
Constructed of Corzan 4910 CPVC
Tank 1: PVDF Dual 6‰ DI/Chrome etch - Ambient recirc bath
Tank 2: PVDF Dual 6‰ DI Dragout - Ambient static bath
Tank 3: PVDF Dual 6‰ QDR - Cold
1997 vintage.
AKRION UP-V2-HL 2000 est une station humide très avancée conçue pour le nettoyage des surfaces, la gravure des plaquettes, le post-nettoyage et plus encore. Il s'agit d'une chambre de processus en plusieurs étapes intégrée à un seul équipement, permettant au personnel de suivre et de contrôler individuellement la progression de chaque étape. Ce système est extrêmement flexible et peut accueillir un large éventail de matériaux et de procédés. L'unité commence par une étape de gravure du cristal de silicium polycristallin à basse pression où des ions métalliques sont utilisés pour graver le silicium polycristallin et d'autres matériaux à l'échelle nanométrique. Cette étape est suivie d'une étape post-nettoyage, dans laquelle les ions métalliques résiduels éventuels sont enlevés et les pièces sont nettoyées pour l'étape suivante du procédé. Les deux étapes suivantes sont le nettoyage à haute pression à sec. Ce procédé de nettoyage à haute pression à sec utilise une combinaison d'air chaud, de gaz d'argon et d'oxygène pour éliminer les particules indésirables et améliorer les qualités de surface des plaquettes. La machine est également capable de contrôler la température du gaz pour obtenir des résultats très précis. L'outil est compatible avec une variété de procédés, y compris la lithographie, la photolithographie, l'implantation ionique, les diffusions et la gravure. UP-V2-HL 2000 est équipé d'une interface utilisateur avancée avec contrôle direct sur chaque étape du processus. Cela permet au personnel d'analyser rapidement la qualité de chaque étape et d'effectuer des modifications au besoin, ce qui lui donne un contrôle total sur l'ensemble de l'opération. Enfin, l'actif est équipé d'une fonction d'arrêt d'urgence qui assure la sécurité dans le laboratoire. Le modèle est également équipé d'une option de remplissage automatique qui permet au personnel de laisser l'équipement sans surveillance en toute sécurité pendant de longues périodes. AKRION UP-V2-HL 2000 est une station humide très avancée qui peut gérer des processus complexes avec facilité. Son interface conviviale et sa flexibilité en font un choix idéal pour une gamme d'opérations de nettoyage et de gravure de surface.
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