Occasion DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240250 à vendre en France
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La station humide DNS/DAINIPPON FC-3000 est une station de traitement humide haute performance conçue pour des applications de fabrication de semi-conducteurs exigeantes. La plate-forme offre le plus haut degré d'automatisation et de contrôle pour une large gamme de tâches de lithographie avancées, y compris le revêtement de résines photosensibles, l'épuration, le tampon de lisier, le revêtement de pulvérisation, le four post-exposition et la bande de résistance. DNS FC3000 peut être configuré pour répondre à des exigences de processus spécifiques. Il dispose d'un réservoir mégasonique intégré, d'un revêtement de lit résistant aux produits chimiques, d'un réservoir d'eau désionisée (DI) et d'un équipement de ventilation résistant aux produits chimiques. Les mouvements de haute précision de la buse et du capteur sont activés par des moteurs linéaires, assurant un fonctionnement précis et reproductible sur plusieurs lots. Le système est équipé d'un contrôleur RIST PDV-3000 qui permet un contrôle précis de la température, de la pression et d'autres paramètres. DAINIPPON FC 3000 dispose d'une unité de nettoyage automatisée qui effectue des opérations d'épuration, de séchage et de polissage. Il peut également être réglé pour distribuer automatiquement les produits chimiques désirés. Cette station est compatible avec une large gamme de produits chimiques et de résistants, y compris la série Zippy et d'autres matériaux de résistance haute performance. Il offre également une grande variété d'ensembles d'outillage et de buse, ainsi que des capacités de gravure sèche, humide et d'immersion. Les fonctionnalités de sécurité avancées font de DAINIPPON FC3000 un choix attrayant pour les environnements de processus sensibles. Il est construit pour respecter des protocoles de sécurité stricts. En conséquence, il a été certifié pour répondre aux normes UL et CSA les plus strictes. En outre, la station est également conforme aux normes MOSFET de niveau III et HAST, garantissant le plus haut niveau de répétabilité et de fiabilité. En plus des fonctionnalités ci-dessus, DAINIPPON FC-3000 est intégré à une machine de planification des tâches qui permet aux opérateurs d'utiliser efficacement le temps disponible. Cela rend la plate-forme idéale pour les applications à haut débit dans les fabs occupés. FC-3000 station humide est conçue pour offrir le plus haut niveau d'automatisation et de contrôle pour les processus de lithographie complexes. Il permet un contrôle précis des paramètres, y compris la température, la pression et la dispersion des produits chimiques. L'outil de nettoyage automatisé, les fonctionnalités de sécurité avancées et les capacités de planification des tâches conviviales font de DNS/DAINIPPON FC 3000 un choix de premier plan pour les applications de fabrication de semi-conducteurs très exigeantes.
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