Occasion DNS / DAINIPPON MP-3000 #9095610 à vendre en France

DNS/DAINIPPON MP-3000 est une station humide conçue pour le traitement sur banc de plaquettes semi-conductrices. Il est utilisé pour nettoyer ou sécher le substrat de la plaquette avec une chambre de procédé intégrée dans un environnement azoté. La station humide dispose d'un contrôleur de processus programmable automatique unique qui peut économiser jusqu'à 15 cycles et 50 recettes de programme. Cela permet à DNS MP-3000 de développer et de répéter des recettes de cycle standard ou spécifiques au processus rapidement et efficacement. Son environnement à faible teneur en oxygène assure des processus de fixation de filière peu profilés, tandis que sa plage de température réglable de -55 ° C à 200 ° C assure des vitesses de gravure optimales sans provoquer d'inclinaison thermique ou de ruissellement thermique. DAINIPPON MP3000 est équipé de trois stations de rinçage indépendantes et de deux systèmes de cavitation qui permettent un nettoyage régulier des plaquettes par voie humide. Les stations de rinçage peuvent être ajustées à un rythme de rinçage à répétition fixe ou à un étage de répétition indépendant pour chaque rinçage séparé. Les systèmes de cavitation créent des interactions de bulles moléculaires qui brisent rapidement et efficacement les résidus organiques. Le processus de cycle comprend une chambre à vide pour sécher le substrat après le processus de chem humide, permettant une cohérence de cycle rapide et efficace. MP3000 dispose également de fonctions manuelles et automatisées d'ouverture/fermeture du couvercle et de contrôle intégré de la jauge de fuite pour maintenir une qualité de processus élevée. La protection contre le débordement évite les fuites d'eau, tandis que le système de filtration de recirculation permet un contrôle rentable du processus sur une large gamme d'agents de nettoyage. Son système intégré de correction de l'arc de plaquette fournit une planéité de substrat supérieure sans allongement des temps de processus. La station humide dispose de contrôles tactiles intuitifs conviviaux qui rendent la configuration et le fonctionnement de la recette simple et efficace. DNS/DAINIPPON MP3000 dispose d'un système PC intégré avec une grande capacité de mémoire pour stocker jusqu'à 2000 recettes et 200 ensembles de données de production/rendement. Il offre également des options de communication intégrées pour de puissantes capacités de gestion des données. Sa conception complète garantit une propreté et une uniformité supérieures de la surface de la plaquette, une planéité optimisée du substrat et une cohérence de cycle supérieure.