Occasion DNS / DAINIPPON SU-3000 #9361457 à vendre en France
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La station humide DNS/DAINIPPON SU-3000 est un outil de procédé haute performance conçu pour fabriquer efficacement des substrats tels que des plaquettes et des masques semi-conducteurs. Cette station humide intègre les dernières avancées technologiques et fournit les capacités de traitement de précision les plus élevées. La station humide DNS SU-3000 est idéale pour les applications nécessitant la précision d'un processus de micro-gravure, tout en fournissant une plate-forme fiable et en alignant les processus sur les pratiques habituelles de l'industrie. DAINIPPON SU 3000 propose une série d'outils et de fonctionnalités de processus haute performance, y compris un module XY-Drive et un moteur sans broche, qui offrent des capacités de couple élevées et un assemblage de broche à grande vitesse pour minimiser les vibrations. Le contrôleur intégré prend en charge le chargement/déchargement manuel et automatisé pour plusieurs lots de plaquettes et la logique PLC pour le contrôle automatisé des flux. En outre, le contrôleur prend en charge la surveillance des processus, permettant aux utilisateurs de surveiller l'épaisseur des plaquettes en ligne avant tout traitement ultérieur. La conception ergonomique compacte de la plate-forme DAINIPPON SU-3000 offre un excellent accès à tous les composants et composants du système, y compris le plateau, la porte d'entrée et l'enceinte. Chaque système comprend également un gabarit permettant une manipulation aisée et un chargement automatique des substrats. Le gabarit sert également de pince pour l'alignement des substrats et le contrôle complexe des procédés. La station humide supporte un large éventail de procédés, y compris la lithographie des coussins et des couches retardatrices, le clivage époxy-directionnel, la planarisation chimique-mécanique (CMP) et la gravure chimique. La plate-forme de verrouillage rapide de l'unité assure que les substrats restent parfaitement au niveau pendant le traitement. Le DNS SU 3000 offre également une variété de traitements chimiques de haute performance, y compris le lavage chimique et mécanique, le polissage chimique et l'oxydation du peroxyde d'hydrogène. SU 3000 station humide offre une combinaison de caractéristiques et de performances qui en fait un choix idéal pour une analyse de processus humide de haut niveau. Cette plate-forme offre une solution fiable et économique, parfaite pour un large éventail d'applications de traitement par voie humide.
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