Occasion DNS / DAINIPPON SU-3200 #293591976 à vendre en France

La station humide DNS/DAINIPPON SU-3200 est un équipement avancé de traitement des plaquettes sous vide conçu avec fiabilité et performance à l'esprit. Il convient à un large éventail de procédés humides, tels que le revêtement de résistance, le développement, le rinçage, la gravure et le nettoyage. Construite avec un puissant système de chargement automatisé, cette station humide élimine le besoin de manipulation manuelle des substrats et offre un processus d'application précis et reproductible. Au cœur de cette unité est DNS moteur d'entraînement de ceinture et servomoteur de contrôle de mouvement. Cela permet un mouvement précis et répétable des composants de chargement et de traitement. Le bras de transport de la plaquette dispose d'une portée et d'une élévation motorisées bidirectionnelles, offrant une plage de mouvement réglable et à haut débit. Les actionneurs linéaires et rotatifs assurent un mouvement contrôlé et répétable avec une gamme de vitesses. L'outil comprend une chambre de processus en quatre étapes avec un module de processus de spin-tilt multi-position. Cette chambre offre trois réservoirs individuels pour de multiples solutions de processus et features une vanne d'isolation de gaz de couverture pour un contrôle optimal des gaz de processus ainsi que l'évacuation efficace des fumées de processus. De plus, un ensemble de couteaux à air réglables assure un séchage croisé pour réduire le temps de spin-dry et améliorer le débit des plaquettes. Pour une meilleure sécurité, la station humide DNS SU-3200 dispose d'un détecteur optique à grande vitesse pour surveiller la manipulation des plaquettes et détecter la présence de débris sur le convoyeur. L'actif comprend également un modèle de surveillance et de contrôle de la charge automatique qui surveille les paramètres du processus, tels que la température, la vitesse de rotation et la pression de la chambre. En outre, un équipement de surveillance de la résistance et un panneau de commande à distance fournissent à l'opérateur le contrôle en temps réel du système. La station humide DAINIPPON SU 3200 est une unité avancée de traitement des plaquettes sous vide conçue pour fournir des performances fiables et répétables. Avec son puissant moteur et sa commande de mouvement, sa machine de chargement automatisée et son outil de suivi des processus, cet atout offre une solution efficace et sûre pour un large éventail de processus humides.