Occasion DNS / DAINIPPON WS-820C #9152514 à vendre en France
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ID: 9152514
Style Vintage: 1995
Wet station
Load
CHCL Shower N2 blow
DHF
Q Etch
EDR
IPA Dryer
Unload
1995 vintage.
La station humide DNS/DAINIPPON WS-820C est une pièce essentielle de l'équipement de banc humide nécessaire à l'achèvement du traitement des plaquettes de haute qualité. Il s'agit d'un équipement de traitement par voie humide entièrement automatisé, monoplace ou biplace, contrôlé de précision, conçu dans le but d'obtenir un rendement maximal, une interaction minimale avec l'opérateur et des résultats reproductibles et très précis. La configuration matérielle comprend un palier en alliage, des plates-formes motorisées double face, deux réservoirs de traitement collecteur et humide, un réservoir de rinçage déionisé côté arrière (DI) et un système de transport intégré pour la manutention de plusieurs plaquettes par cycle de processus. L'unité est conçue pour offrir une température supérieure et une stabilité des solutions chimiques, ainsi qu'un excellent contrôle de la machine. Il dispose de l'indexation programmable des plaquettes et de la manutention des plaquettes imbriquées, avec un fonctionnement synchrone à faible débit et haute pression, un positionneur pour la manutention des plaquettes et des porteurs, l'identification des plaquettes à jet d'encre et un outil entièrement numérique pour le contrôle des données, y compris les modes manuel et automatique, la détection des défauts et la capacité de récupération. La plate-forme double face, dotée d'un convoyeur intégré pour le traitement de plusieurs plaquettes, fonctionne avec de grands réservoirs de processus et de rinçage, offrant des capacités de mouvement linéaires, permettant un mouvement de haute précision et un contrôle de répétabilité. De plus, l'actif comprend un réservoir DI, utilisant la pression arrière de la plaquette pour empêcher la plaquette d'adhérer à la surface du réservoir, et permettant également des opérations manuelles. L'ordinateur de bord intégré assure un contrôle complet du modèle avec des recettes de processus, permettant une traçabilité complète et un meilleur contrôle des paramètres du processus, ainsi que la détection des pannes, l'arrêt d'urgence, la surveillance du débit et de la pression et la capacité de récupération. Les systèmes de prévention et de suivi des mauvais événements disposent également de capacités de validation complètes. DNS WS-820C est entièrement compatible avec les suites logicielles les plus populaires au monde telles que STATS, CALC, MPS, etc., et fournit des possibilités pour la préparation et la mise en œuvre des recettes. La bibliothèque complète de recettes pour le fonctionnement manuel et automatique offre des possibilités de résultats reproductibles de temps en temps. La station humide est disponible en trois modèles DAINIPPON WS820C, WS-820CR et WS-820W - qui comportent également un certain nombre de configurations et d'accès adaptés à des applications et des exigences spécifiques. Le modèle DNS/DAINIPPON WS820C est conçu spécifiquement pour le nettoyage des plaquettes, tandis que le support RJSTX-200 est idéal pour les processus d'exposition des plaquettes. L'ensemble WS-820W comprend un équipement intégré de hachage de plaquettes, une armoire à gaz, un contrôleur auxilliaire et une variété d'unités de commande pneumatique.
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