Occasion DNS / DAINIPPON WS-820L #9391878 à vendre en France

La station humide DNS/DAINIPPON WS-820L est un équipement d'équipement semi-conducteur de pointe utilisé pour la lithographie de haute précision et le traitement de technologies semi-conductrices avancées. Le système est développé conjointement par DNS, un fabricant de systèmes de traitement des semi-conducteurs et DAINIPPON, un fabricant de matériaux semi-conducteurs, pour fournir les résultats d'exposition des plaquettes de la plus haute qualité. DNS WS820L utilise des techniques avancées de lithographie à haute résolution telles que le faisceau d'électrons et l'illumination dipolaire, ainsi que le balayage et le balisage des faisceaux électroniques qui se traduisent par une amélioration significative de la définition des caractéristiques et des chevauchements relativement importants. Il dispose d'une unité hybride e-beam 6 axes qui fournit une excellente uniformité de processus sur de très grandes zones d'exposition. La machine hybride permet également une excellente gérabilité en vol des curseurs de dose et d'autres paramètres, ce qui améliore la précision et la répétabilité du processus. Les caractéristiques améliorées de l'outil permettent également de réduire le temps d'exposition et d'améliorer la productivité. L'actif fournit en outre des capabilités d'automatisation de haut niveau, ce qui le rend adapté aux opérations d'exposition des plaquettes à grande et à petite échelle. Il dispose d'une transmission motorisée à l'étage XY, de portes de sécurité étanches à la lumière, d'une transmission automatique programmable et d'un modèle WaferMover automatisé ou d'un mouvement manuel à l'étage XY, ainsi que d'options de manutention manuelle des plaquettes. En outre, il est équipé d'une station de traitement humide automatisée et d'une unité de manutention, d'un équipement de vision de bord haute résolution et d'un système de vision de haute précision pour l'imagerie précise des plaquettes. DAINIPPON WS 820L offre également une unité unique de détection d'ID de plaquettes qui lit et identifie avec précision les plaquettes afin de prévenir la contamination croisée et les multiples opérations de soutirage. En outre, la machine est intégrée avec un capteur de position tactile laser pour une manipulation précise du substrat, un contrôleur de température pour un contrôle précis de la température et un contrôleur personnalisé pour des paramètres et un contrôle précis du processus. En outre, il est compatible avec une gamme de produits chimiques humides, y compris KSC-77 photorésist, et supporte une variété de tailles de plaquettes de 2 pouces à 12 pouces. Dans l'ensemble, WS-820L station humide est un outil avancé et polyvalent de traitement des semi-conducteurs développé pour fournir les résultats d'exposition des plaquettes de la plus haute qualité. Il est bien équipé avec une gamme de capacités d'automatisation et intégré avec des systèmes automatisés de traitement et de manutention par voie humide, fournissant des opérations d'exposition des plaquettes à grande et à petite échelle. En outre, il est équipé d'un atout de détection de wafer ID et d'une gamme d'autres composants de contrôle de processus de haute précision, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats précis et reproductibles.