Occasion DNS / DAINIPPON WS-W625 #9115315 à vendre en France
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DNS/DAINIPPON WS-W625 Wet Station est une station de traitement humide haute performance conçue pour fournir une manipulation précise, propre et cohérente du substrat d'une manière respectueuse de l'environnement. Il a une conception optique avancée et des caractéristiques de manipulation de substrat propriétaires qui permettent un séchage efficace des plaquettes avec des débris de plaquettes réduits et un débit de plaquettes amélioré. Il est équipé de plusieurs étapes de processus qui permettent un fonctionnement rapide, répétable et fiable. Le procédé de gravure humide consiste en un robot porteur de plaquettes qui transporte le substrat d'une étape à l'autre. Le gestionnaire de substrat DNS WS-W625 a un cycle de chargement et de déchargement rapide capable de manipuler jusqu'à 500 plaquettes par heure. Il utilise un système à flux contrôlé à trois zones avancé et très fiable pour fournir une uniformité précise sur toute la hauteur de la plaquette. Ce système consciencieusement conçu utilise une buse qui se déplace selon l'axe z de la plaque de buse pour contrôler avec précision la dispersion du liquide dans un flux non turbulent. Le procédé de gravure humide est réalisé en deux étapes : trempage et traitement. Au cours de l'étape de trempage, une plaquette est simultanément plongée dans les liquides de gravure mélangés tandis que l'étape de traitement consiste à déposer un traitement de surface sur la plaquette. Ces deux processus sont gérés par le contrôleur embarqué et la suite logicielle de DAINIPPON WS-W625 qui aide à configurer les paramètres du processus ainsi qu'à automatiser l'ensemble de l'opération pour s'assurer que chaque étape est effectuée uniquement avec le plus haut niveau de précision. WS-W625 comprend également une station de lavage intégrée, à haut débit et sans rinçage pour assurer un nettoyage contrôlé et cohérent des plaquettes. Il présente une conception économe en énergie qui réduit les coûts opérationnels. En outre, son module de spin-séchage humide est équipé d'une chambre motorisée personnalisée qui assure le plus haut niveau d'efficacité de spin. Le processus de gravure humide peut être personnalisé grâce à une programmation approfondie et des paquets d'optimisation des processus. Cette station de traitement humide polyvalente peut être intégrée à d'autres équipements et systèmes pour former un flux de travail complet. Dans l'ensemble, la station humide DNS/DAINIPPON WS-W625 dispose d'un ensemble de fonctionnalités qui permet un traitement uniforme et précis des gravures humides. Grâce à sa conception optique avancée et à ses technologies exclusives de manipulation des substrats, cette station humide est adaptée à des opérations fiables qui permettent d'économiser les coûts et d'améliorer le débit des plaquettes. Il s'agit d'un choix idéal pour le séchage et le nettoyage des plaquettes de précision dans un large éventail de procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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