Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Magellan #9400272 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan est une station de traitement humide conçue pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour être utilisé dans des applications telles que le spin-on-diélectrique, le décollage, la gravure et le dépôt. FSI Magellan est capable de traiter des substrats de grande taille, jusqu'à 400 x 500 mm. TEL Magellan est capable de réaliser divers procédés de lithographie avancés tels que le vide-vide à haut rapport d'aspect, le décollage et le contrôle de collage. Il a un étage optique double axe de précision, avec une vitesse de translation maximale de 0,5 μ m/s et une précision de positionnement de 1,5 nm. La scène peut supporter des plaquettes de 1 pouce jusqu'à 8 pouces avec une force de manutention allant jusqu'à 1,5 N. Magellan est équipé d'un équipement primé de lithographie de faisceau électronique pour un contrôle précis du timing. Le système intégré est compatible avec une variété d'électrodes de puissance programmables, permettant une combinaison précise de tension et de courant. L'unité est capable de fournir des images haute résolution avec une résolution maximale de 5,5 μ m. TOKYO ELECTRON Magellan est compatible avec un certain nombre de procédés chimiques monobloc tels que aqueux, organiques et toxiques. La station est également équipée de divers procédés chimiques humides automatisés tels que le lavage, la gravure et le dépôt. La machine automatisée intégrée est capable d'exécuter des processus à haut volume avec un contrôle précis. En outre, la station est équipée d'un équipement complet de sécurité et de protection de l'environnement. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan est conçu pour une productivité maximale et pour faciliter un traitement sans erreur avec un retournement rapide. La station est conviviale et offre une installation rapide et simple. La station offre également un fonctionnement intuitif avec une variété de fonctionnalités, y compris la gestion des recettes et le suivi des processus. FSI Magellan est soutenu par le logiciel FSI 'Easy-to-Use', qui permet à l'utilisateur de développer ses propres recettes de processus et de stocker des données. TEL Magellan est une station humide multifonctionnelle capable de fournir une gamme complète de processus allant de la gravure simple à la lithographie hautement complexe. Il est conçu pour supporter des applications de haut volume et de haute précision et peut faciliter un retournement rapide de la production. Magellan offre également une interface conviviale ainsi que des mesures globales de sécurité et de protection de l'environnement.