Occasion LAM RESEARCH DV-38DS #9095950 à vendre en France

LAM RESEARCH DV-38DS est une station de traitement humide conçue pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de processus multi-étapes tels que le développement, la gravure, le balisage, et les procédures de nettoyage pour une grande variété de substrats de dispositifs. La station se compose d'une unité principale, d'une tourelle et de plusieurs modules de processus différents. L'unité principale de la station est un grand boîtier en aluminium qui abrite les composants électriques, les pompes et les fluides de traitement. La tourelle est une tête tournante unique sur le dessus de la station qui tient jusqu'à huit cassettes de plaquettes pour le traitement multi-étapes. Les différents modules de procédé comprennent un module de gravure humide, un module de rinçage au spin et un module de séchage. Le module de gravure humide contient un réservoir de gravure - une grande chambre qui abrite l'graveur et le délivre aux plaquettes. Cet agent peut être une solution monocomposant (par exemple acide nitrique, acide sulfurique ou acide chlorhydrique) ou multi-composant (par exemple IPA-HF) ; et la chambre est constamment rincée avec des produits chimiques frais pour garder l'environnement de gravure propre et prévenir l'accumulation de contaminants. Le module de rinçage par spin contient les réservoirs de rinçage - deux grands réservoirs qui contiennent des fluides de procédé et fournissent de l'eau de rinçage propre aux plaquettes. Cette eau de rinçage propre est nécessaire pour éliminer les résidus du processus de gravure, et peut être de l'eau DI ou une solution de rinçage in situ pour un meilleur nettoyage. Enfin, la station contient également un module de séchage, qui utilise de l'air chaud ou de l'azote pour sécher rapidement les plaquettes avant leur déchargement. Ceci est important parce que tout liquide de rinçage ou d'etchant résiduel peut être corrosif et provoquer un dysfonctionnement du dispositif. DV-38DS est une station de traitement humide hautement fiable qui facilite la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il est conçu pour fournir un contrôle précis sur les étapes de processus individuelles, et ses modules de processus modulaires le rendent facile à personnaliser pour différentes applications. De plus, la station est compatible avec le langage de recette LAM LEVEL-1, permettant un contrôle précis de la programmation des recettes de traitement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH DV-38DS est une excellente station humide pour tout laboratoire de fabrication de semi-conducteurs.