Occasion SES Caroz #293674866 à vendre en France

Fabricant
SES
Modèle
Caroz
ID: 293674866
Taille de la plaquette: 12"
Wet etching machine, 12".
SES Caroz est une station humide de pointe conçue pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe joue un rôle crucial dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs en permettant un nettoyage, un rinçage et un séchage précis des plaquettes de silicium après différentes étapes de traitement. L'ingénierie et la conception de la station humide Caroz visent à atteindre des niveaux élevés de propreté, de contamination minimale des particules et d'uniformité des procédés afin d'assurer des performances cohérentes et fiables des dispositifs semi-conducteurs. La station humide de SES Caroz est équipée de multiples modules de procédés, dont la distribution de produits chimiques, les bains de nettoyage, les bains de rinçage et les unités de séchage, qui sont tous intégrés dans une plate-forme unique. Chaque module est conçu pour effectuer des tâches spécifiques tout en travaillant de manière cohérente pour fournir une solution complète de traitement humide. L'équipement est contrôlé par un logiciel de pointe qui permet des recettes programmables, la surveillance en temps réel, et l'enregistrement des données pour assurer la répétabilité du processus et la traçabilité. Une des caractéristiques clés de la station humide de Caroz est son système de distribution chimique précis, qui permet une livraison précise et contrôlée de divers agents de nettoyage et solvants. Cela garantit que les plaquettes sont efficacement nettoyées et exemptes de contaminants avant de passer à l'étape suivante de traitement. L'unité est conçue pour traiter un large éventail de produits chimiques utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris les acides, les bases et les solvants, avec la capacité d'ajuster les concentrations et les débits selon les exigences du procédé. Les bains de nettoyage de la station humide SES Caroz sont conçus pour éliminer les résidus organiques et inorganiques de la surface de la plaquette par immersion et agitation. Les bains sont équipés de transducteurs à ultrasons pour améliorer l'efficacité du nettoyage et assurer un nettoyage uniforme sur toute la surface de la plaquette. La machine est capable de réaliser des étapes de nettoyage simples ou multiples selon les exigences du processus, avec la flexibilité de personnaliser les recettes de nettoyage pour des applications spécifiques. Le rinçage est une étape critique dans le traitement humide des plaquettes semi-conductrices pour éliminer les agents de nettoyage résiduels et les contaminants de la surface des plaquettes. Caroz station humide est équipée de plusieurs bains de rinçage qui utilisent de l'eau DI de haute pureté pour assurer un rinçage complet et minimiser la contamination des particules. L'outil permet des cycles de rinçage personnalisables, y compris le rinçage en cascade, le rinçage par pulvérisation et le rinçage mégasonique, pour atteindre les niveaux de propreté désirés. Le séchage des plaquettes est effectué dans la station humide de SES Caroz à l'aide d'unités de séchage avancées utilisant des techniques telles que le séchage par spin, le séchage à l'air chaud et le séchage sous vide. Ces méthodes de séchage sont conçues pour éliminer l'excès d'eau de la surface de la plaquette sans causer de dommages ou de contamination. L'atout permet des recettes de séchage programmables pour optimiser le temps de séchage, la température et le débit d'air pour différents types de plaquettes et de procédés. Dans l'ensemble, la station humide Caroz est un outil polyvalent et fiable pour le traitement humide dans la fabrication de semi-conducteurs, offrant des capacités avancées pour répondre aux exigences strictes des dispositifs semi-conducteurs modernes. Sa conception innovante, son contrôle précis et sa flexibilité en font un équipement essentiel pour atteindre des rendements et une qualité élevés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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