Occasion STEAG / MATTSON / AST AWP #9091165 à vendre en France
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ID: 9091165
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Wet bench, 8"
2001 vintage.
La station AST (SMAST) de traitement humide automatisé (STEAG/MATTSON/AST AWP) est une station de traitement humide avancée et de grande capacité conçue pour fonctionner de façon automatisée dans les processus d'emballage et d'assemblage des plaquettes des semi-conducteurs. La SMAST AST AWP Station est une plate-forme modulaire complète de traitement par voie humide conçue pour réduire l'intervention humaine tout en offrant des temps de cycle de processus constants à des rendements optimaux. La station SMAST STEAG AWP comprend trois fonctions essentielles qui fournissent ensemble un environnement de réaction automatisé à l'intérieur de la station : la manutention des plaquettes et des pièces, le traitement chimique et le fonctionnement post-traitement. La plate-forme de traitement chimique est centrale et modulaire, ce qui permet de personnaliser le cycle de traitement aux besoins spécifiques des clients. Cette conception flexible élimine les modules inutiles, réduisant l'empreinte globale et les coûts. La SMAST AWP Station dispose également de systèmes automatisés de manutention et de stockage et de récupération des plaquettes. L'équipement de manutention automatisé utilise des bras robotisés pour transporter des plaquettes et des pièces entre les différentes étapes du processus tout en assurant une isolation physique complète des contaminants. Le système de stockage et de récupération maintient l'inventaire de la plaquette et de la pièce à un niveau optimal et est conçu pour remplir automatiquement les chambres de traitement avec les produits chimiques et les solvants nécessaires. La station comprend également quatre cuves de procédé principales : une cuve de rinçage, une cuve de décapage, une cuve de séchage et une cuve de scellement. À l'intérieur des réservoirs, une technologie STEAG Technology est utilisée pour assurer la plus grande uniformité possible pendant tout le processus chimique. La station dispose d'un contrôleur de processus intégré connecté à un ordinateur personnel pour la personnalisation complète du processus et la documentation de recette. La SMAST MATTSON AWP Station permet une large gamme de chimie de procédé et de capacités ainsi que de permettre pour les produits chimiques certifiés et non certifiés. La plate-forme logicielle conviviale est conçue pour suivre l'avancement des processus et identifier tout écart chimique ou de température potentiel, permettant des corrections de processus et des améliorations en temps réel. La station SMAST STEAG/MATTSON/AST AWP est équipée de quatre systèmes de nettoyage : une machine de nettoyage liquide, un outil de nettoyage en cascade d'azote sec, un matériel de nettoyage en cascade d'oxygène sec et un cycle de nettoyage à ultrasons. Cette large gamme de solutions de nettoyage garantit la plus haute qualité de base du produit, tout en respectant toutes les spécifications de sécurité, environnementales et industrielles. Enfin, le SMAST AST AWP Station dispose de garanties environnementales avancées telles que la ventilation sophistiquée, les hottes à fumées, les portes de sécurité avec ESD, et l'isolement automatisé. Ces garanties visent à maximiser l'efficacité opérationnelle tout en protégeant le personnel et l'environnement dans lequel la station est utilisée.
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