Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius I #293824712 à vendre en France
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ID: 293824712
Wet bench
Mainframe
(6) Chambers
(4) POU modules: APM, HF, NH₄OH, HPM
(2) SD2 modules
Application: DHF/APM Cleaning.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius I est une station humide de pointe utilisée dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe joue un rôle critique dans la fabrication de circuits intégrés et autres dispositifs électroniques en assurant un traitement chimique humide précis et contrôlé des plaquettes. La station humide TEL Expedius I est fabriquée par TEL, un fournisseur leader d'équipements de production de semi-conducteurs, et est conçue pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs pour un traitement de haute qualité et de haute performance. TOKYO ELECTRON Expedius I dispose d'une conception modulaire qui permet une configuration et une personnalisation flexibles pour répondre aux exigences spécifiques des processus. L'équipement se compose de plusieurs modules, y compris des réservoirs de procédés chimiques, la robotique, des systèmes de manutention des fluides et des unités de contrôle, tous intégrés de manière transparente pour fournir une solution complète de traitement humide pour la fabrication de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de la station humide Expedius I est son système robotique avancé, qui permet une manipulation et une manipulation précises des plaquettes tout au long des étapes de traitement. Les bras robotiques sont équipés de capteurs sophistiqués et de systèmes de vision pour assurer le positionnement et l'alignement précis des plaquettes dans les réservoirs de procédé, minimisant les risques de contamination et améliorant l'efficacité du traitement. La station humide est équipée d'une variété de réservoirs de procédés chimiques, chacun conçu pour des procédés chimiques humides spécifiques tels que le nettoyage, la gravure et le dépôt. Ces réservoirs sont constitués de matériaux de haute qualité résistant à la corrosion et à la contamination, assurant la pureté des produits chimiques et l'intégrité des plaquettes traitées. Les réservoirs sont équipés de systèmes de régulation de la température pour maintenir les températures de processus souhaitées et garantir des résultats de traitement cohérents et fiables. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius I dispose également de systèmes avancés de manutention des fluides qui permettent un contrôle précis des flux chimiques et des concentrations lors du traitement. L'unité comprend des pompes, des vannes et des filtres conçus pour traiter un large éventail de produits chimiques utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, tout en assurant la distribution uniforme et le mélange des produits chimiques pour des résultats de traitement optimaux. La station humide est contrôlée par une interface logicielle sophistiquée qui fournit aux opérateurs une surveillance et un contrôle en temps réel des paramètres de traitement. L'interface conviviale permet une programmation facile des recettes de processus, le suivi des performances de la machine, et le dépannage de tous les problèmes qui peuvent survenir pendant le fonctionnement. Le logiciel comprend également des outils avancés d'enregistrement et d'analyse des données qui permettent l'optimisation des processus et le contrôle de la qualité pour garantir des résultats de traitement cohérents et reproductibles. En conclusion, la station humide TEL Expedius I est un équipement de pointe qui offre une solution complète pour le traitement chimique humide dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec sa robotique de pointe, sa manipulation de précision et ses systèmes de contrôle sophistiqués, la station humide offre des capacités de traitement de haute performance qui répondent aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Conçue pour la flexibilité, la fiabilité et l'efficacité, TOKYO ELECTRON Expedius I est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des rendements élevés et une qualité de produit supérieure dans leurs processus de production.
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