Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293586639 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide modulaire conçue pour les fabricants de puces semi-conductrices qui offre une variété de caractéristiques pour une manipulation efficace des plaquettes. Il est conçu pour une utilisation facile, l'entretien et le support technique avec plusieurs caractéristiques de sécurité. L'équipement se compose d'un module de transfert, de l'ordinateur central, de la chambre d'environnement et du module de chauffage du substrat. Le module de transfert est le composant principal du système et sert à transférer des plaquettes entre la chambre d'environnement et l'ordinateur central. Il comprend un mécanisme automatique d'alignement et de nivellement des plaquettes, une unité de vision, un mandrin à vide et une caméra haute résolution. Le module de transfert dispose d'une machine de vision intégrée qui permet aux utilisateurs d'aligner et de détecter les défauts dans les plaquettes. La caméra utilisée dans l'outil de vision peut différencier les zones sombres et lumineuses sur la plaquette et détecter les défauts mécaniques. Le mandrin à vide est utilisé pour maintenir les plaquettes en place et le mécanisme d'alignement permet aux utilisateurs de régler avec précision la position des plaquettes. L'ordinateur central de TEL Expedius comporte plusieurs composants qui permettent un contrôle précis des outils de processus. Ces composants comprennent un atout de vision, un modèle de livraison de liquide, un équipement de livraison diélectrique, un tableau de commande et un ensemble onduleur. Le système de vision est utilisé pour contrôler avec précision les outils de processus. Il est capable de détecter toute irrégularité ou anomalie de processus et de fournir des retours en temps réel aux contrôleurs. L'unité de distribution de liquide est responsable du dépôt uniforme de liquide lors des processus humides. Il est également utilisé pour fournir et stocker différents types de liquides pendant les opérations. La machine de distribution diélectrique est utilisée pour délivrer des matériaux gazeux tels que l'oxygène, le chlore et le soufre. La carte de commande est utilisée pour contrôler l'application des tensions, des courants et des températures pendant les opérations. Enfin, l'ensemble onduleur est utilisé pour transporter des plaquettes entre différents outils de procédé. La chambre d'environnement de l'outil est utilisée pour contrôler et maintenir les caractéristiques des plaquettes pendant les opérations. Il peut être chauffé ou refroidi et la température peut être ajustable dans une plage de 1-35 degrés Celsius. L'humidité de la chambre peut également être régulée et elle peut être utilisée pour stocker une variété de matériaux différents. Le module de chauffage des substrats de TOKYO ELECTRON Expedius est utilisé pour réchauffer rapidement les substrats pendant les opérations. Il a également un atout de régulation de température qui peut réguler la température dans une plage de 10-1000 degrés Celsius. Une autre caractéristique clé de ce module est sa capacité à se réchauffer et à se refroidir rapidement en très peu de temps. Expedius est une station humide fiable avec une gamme de fonctionnalités conçues pour les fabricants de puces semi-conductrices. Ses caractéristiques permettent aux fabricants de réaliser des processus humides efficaces et précis avec un effort minimal et une qualité de produit améliorée. La conception modulaire du modèle et les outils de processus automatisés offrent aux utilisateurs une solution efficace aux besoins de fabrication de puces.