Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293594359 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + est une station humide spécialement conçue pour les procédés chimiques pour la fabrication de semi-conducteurs. Cette station humide dispose d'un four de pyrogravure immergé, d'un contrôleur de bain et d'un panneau de distribution de gaz de gravure qui lui permettent d'effectuer des gravures humides, des cendres et des processus de bande. Le four pyro-graveur est conçu pour graver en toute sécurité les substrats avec une gamme de produits chimiques corrosifs. Il utilise un fonctionnement haute et basse température, ajustant automatiquement la température à l'aide du contrôle catalytique de la température de la chambre de réaction à cinq zones. La chambre de réaction catalytique à cinq zones est idéale pour contrôler et changer rapidement entre différents contenus gazeux dans la chambre de gravure, et elle est capable de contrôler jusqu'à cinq étapes de vitesse de gravure. Le contrôleur de bain est un contrôleur automatisé convivial qui permet d'effectuer les opérations dans la chambre de gravure avec une intervention manuelle minimale, et il protège également le four pyro-graveur des déficits thermiques et en oxygène. Le régulateur de bain dispose de bains à réponse rapide et peut stocker jusqu'à 115 recettes, et ses mécanismes de manutention de matériaux sûrs assurent la plus haute qualité de produit et la sécurité. Le panneau de distribution de gaz de gravure intégré au sein de la station humide permet une livraison efficace et sûre de gaz rares de haute pureté. Il dispose de plusieurs vannes de régulation de gaz, avec la possibilité de travailler à la fois avec le débit de liquide et de gaz vapeur. Le débit de gaz est conçu pour trouver un équilibre entre l'absorption rapide de la réaction de gravure et la minimisation des contraintes thermiques. Le panneau dispose également de capacités automatisées d'échappement des conteneurs et d'essais de fuite qui garantissent une manutention sûre des gaz. La station humide TEL Expedius + dispose d'une interface utilisateur intuitive qui garantit un fonctionnement et une surveillance faciles. Il permet aux utilisateurs de visualiser les états d'alarme et de fonctionnement, avec un affichage graphique convivial et une large gamme de signaux d'entrée de capteur. Il supporte également la gestion des données et la synchronisation du SGCM (Système informatisé de gestion de la maintenance), ce qui facilite la traçabilité de tous les processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Expedius + station humide offre des capacités de traitement chimique fiables et efficaces. Grâce à sa conception robuste et conviviale, il convient à la fabrication industrielle de semi-conducteurs et à d'autres procédés chimiques de haute précision.