Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629289 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide conçue pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Il offre une gamme de processus pour une variété d'applications. Ses caractéristiques avancées comprennent : Haute vitesse, traitement de haute précision à l'aide de gaz inerte, de produits chimiques liquides et d'agents chimiques atmosphériques. Capacité à traiter des plaquettes de toutes tailles, de petites à grandes. Plusieurs modules de processus pour exécuter différents processus en même temps. Processus contrôlables avec précision, y compris le débit, la température et la durée de la réaction. Compatibilité avec plusieurs types d'instruments et de contrôleurs de processus. Fonctionnalités d'automatisation pour simplifier et accélérer le traitement. Une interface graphique puissante pour permettre aux utilisateurs de surveiller et de contrôler les processus en temps réel. TEL Expedius comprend plusieurs composantes importantes pour le fonctionnement du système. La première est l'unité centrale de traitement (CPU), qui fournit le logiciel de contrôle et les communications entre le système de contrôle et les différents modules de processus. Le second est le Liquide Handler, qui est le système qui gère le flux et la dispersion des produits chimiques liquides utilisés dans le processus. Le troisième est le gestionnaire de substrat, qui contrôle le chargement, le déchargement et l'alignement des plaquettes sur les supports de substrat. Enfin, le quatrième est le contrôleur de processus, qui est chargé de contrôler les paramètres tels que le débit, la température et d'autres paramètres de pré-exposition. TOKYO ELECTRON Expedius est conçu pour le traitement de haute précision de plaquettes utilisant une variété d'agents chimiques. Il supporte également de nombreux types d'instruments et de contrôleurs de processus, permettant une grande flexibilité dans la conception du processus. Les fonctionnalités d'automatisation améliorent également l'efficacité du traitement. L'interface utilisateur graphique facilite la surveillance et le contrôle du processus et permet aux utilisateurs de démarrer, arrêter et interrompre le traitement à tout moment. Il permet également aux utilisateurs de programmer différentes séquences de processus, et de basculer entre eux rapidement. Expedius est un excellent choix pour le traitement avancé des semi-conducteurs.
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