Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293629293 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + est une station humide avancée qui fournit une solution tout-en-un pour le contrôle précis des applications de processus de haute complexité. La station humide combine des capacités précises de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD), de polissage chimique-mécanique (CMP) et de traitement humide de précision. L'unité peut manipuler des pièces jusqu'à 200 mm (en diamètre) et 16 mm d'épaisseur, assurant un haut degré de précision et de répétabilité. La station humide est équipée d'une chambre à vide, conçue et construite avec des matériaux de qualité supérieure pour garantir la plus haute performance et fiabilité. La chambre spécialement conçue permet un contrôle précis du processus CMP, ce qui permet une gravure précise, une planéité de surface élevée, une douceur et une homogénéité. Il permet également un contrôle de précision supérieur de l'opération CMP, maximisant à la fois la qualité et la productivité du procédé. La station humide dispose également d'une combinaison de processus chimiques et de placage pour contrôler avec précision l'uniformité de toutes les caractéristiques de surface. Les processus CMP et LPCVD sont précisément surveillés et gérés tout au long du processus, assurant l'uniformité et la répétabilité du produit. La station humide prend également en charge les applications de procédé à sec, offrant des capacités de gravure à sec avancées. Les broches intégrées à grande vitesse permettent un meilleur contrôle et une productivité accrue lors des processus mécaniques de polissage, de broyage et d'archivage. Les graphiques à l'écran affichent les résultats de tous les processus en fonctionnement, avec la possibilité d'examiner les opérations passées et les paramètres pour une optimisation plus poussée. La station est équipée d'une gamme de capteurs comprenant pression, température, humidité et niveau de liquide, donnant une rétroaction précise à l'opérateur. TEL Expedius + fournit un environnement fiable et cohérent pour assurer une précision et une répétabilité optimales lors des processus de traitement chimique, mécanique et humide. Des caractéristiques telles que la chambre basse pression, les broches intégrées et un système de contrôle efficace permettent à l'unité d'augmenter la qualité et le rendement du produit, tout en réduisant les coûts. Cette station mouillée multifonctionnelle est idéale pour le contrôle précis des applications de processus de haute complexité.
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