Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633733 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide conçue pour les procédures de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'une combinaison idéale d'outils de traitement humide et de lithographie, conduisant au plus haut débit de processus, à des rendements et une fiabilité améliorés, et aux résultats de la plus haute qualité. La station se compose d'un processeur de spin, d'un implanteur ionique complexe et d'un système de distribution de vapeur. Le processeur de spin permet jusqu'à 20 stations de spin-enrobage automatisé pour assurer un dépôt de couche uniforme. L'implanteur d'ions dépose des ions à haute énergie pour contrôler la charge dans chaque faisceau focalisé. Le système de distribution de vapeur permet un débit de gaz plus élevé, ce qui est important pour réaliser efficacement les applications CVD, PVD et gravure. TEL Expedius fournit également une technologie de pointe dans la création de micro-environnements optimaux au sein de la station. Une chambre à vide avec un refroidissement actif intégré contrôlé par ordinateur aide à prévenir la contamination par l'humidité atmosphérique. Un système de destruction de l'ozone et un piège chimique empêchent l'ozone d'atteindre les pièces. Une chambre de procédé avec contrôle programmable de la température et de l'humidité maintient les environnements chimiques les plus cohérents pour effectuer des processus humides réussis. La station est également livrée avec une détection de défaut avancée et des fonctions d'arrêt automatique pour améliorer la sécurité. La détection des défauts est particulièrement utile pour identifier les décalages dans les paramètres du processus et éliminer les défauts de processus résultant de tels décalages. L'arrêt automatique réduit le temps consacré au nettoyage de tout déversement ou autre accident. TOKYO ELECTRON Expedius permet également à ses utilisateurs de personnaliser la station selon leurs propres besoins. Sa nature modulaire permet d'ajouter ou de supprimer certains composants afin que les utilisateurs puissent adapter exactement leurs paramètres de processus. La station peut également être intégrée à d'autres systèmes semi-automatisés ou automatisés tels que des ports de chargement facilitant le transfert et la surveillance de plaquettes, pistes ou autres substrats. Dans l'ensemble, Expedius augmente l'efficacité et améliore les rendements en simplifiant et en automatisant les processus humides fastidieux. Il permet à ses utilisateurs de personnaliser la station à leurs propres besoins et s'intègre avec d'autres systèmes pour augmenter le flux de travail. De plus, les fonctions de sécurité avancées garantissent que les processus sont surveillés et sans problème, ce qui permet une production ininterrompue.