Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293745373 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+
ID: 293745373
Wet bench.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + est un équipement avancé de traitement des plaquettes qui dispose de protocoles de nettoyage de haute qualité, fiables et de faible entretien. Ses fonctionnalités avancées et complètes permettent une grande variété d'applications, de la production de semi-conducteurs de pointe à la R&D et au prototypage. Au cœur de TEL Expedius + se trouve une station humide logée dans un cadre mince. Cette station humide est idéale pour une grande variété de procédés, y compris la bande et le nettoyage, le dépôt, la gravure, le traitement de surface et le dopage. De plus, la station humide dispose d'un système d'auto-positionnement à balayage précis pour un traitement précis et reproductible. La station humide est également capable d'une large gamme de configurations de chambres de processus, d'un modèle monoport monoéquipé à une unité multi-port entièrement intégrée. Selon le modèle, l'unité peut accueillir jusqu'à douze substrats à la fois, ce qui permet une production de plaquettes plus efficace et un débit plus élevé. En plus de la configuration spacieuse de la station humide et multi-ports, TOKYO ELECTRON Expedius + dispose également d'une gamme de technologies de pointe, y compris les mesures transversales de plaquettes à plaquettes, les gaz d'échappement de sous-chambres, le transfert de cassettes à cassettes pour une compatibilité accrue du substrat, et la machine intégrée de mesure de la charge supérieure. Toutes ces caractéristiques sont conçues pour assurer une bonne manipulation des plaquettes et des substrats, assurer un contrôle supérieur des processus et même réaliser un auto-alignement reproductible pour la planarité des plaquettes sur différentes pistes. En plus de la gamme impressionnante de caractéristiques et d'équipements, Expedius + bénéficie également d'un design durable et auto-nettoyant. Son mécanisme innovant d'auto-nettoyage ArF aide à maintenir une bonne qualité de plaquette et de substrat avec une intervention manuelle minimale, tandis que l'outil Auto ATC aide à réduire le toucher manuel et réduit ainsi le risque de contamination. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + est un outil de traitement des plaquettes performant et efficace, doté d'une homogénéité supérieure, de capacités de processus étendues et de fonctionnalités avancées. Avec ses capacités impressionnantes, le modèle est un excellent choix pour les besoins de traitement des plaquettes, de la R&D au prototypage en passant par la production à grande échelle.
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