Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293757163 à vendre en France
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ID: 293757163
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Wet bench, 12"
Process flow: CHCL-CWS-SD2-SD2-HQDR-SC1(MS)-HQDR-SC1(MS)-HQDR-SPM
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications connexes. Cet équipement automatisé et intégré de station humide est conçu pour le traitement rapide et de haute précision de substrats de plaquettes de 2,5 « à 8 ». Cette flexibilité et cette automatisation précise permettent d'augmenter le débit et de réduire le temps de traitement. La station de traitement dispose d'un large éventail de caractéristiques pour maximiser l'efficacité, telles que les étages à double tranchant, le contrôle de pression programmable, les chauffages à grande vitesse, les capteurs de pression en temps réel et de réponse au retard, les capteurs complexes pour le mouillage précis et le contrôle chimique, les bras robotiques de précision pour l'automatisation des processus et les outils de surveillance avancée. La station humide est équipée d'un design ergonomique et d'un HMI convivial (interface homme-machine) permettant un fonctionnement et un paramétrage faciles. Ce système a un transport de surface rapide à lent, ce qui permet au substrat de la plaquette d'entrer dans la station, d'être chargé et traité rapidement. De plus, sa mémoire d'exécution embarquée de grande capacité assure un traitement rapide et précis des recettes. Avec ses nombreuses fonctionnalités, TEL Expedius offre aux utilisateurs une gamme variée d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs et les industries connexes. Il permet un large éventail de processus, du nettoyage de surface à la lithographie, électrochimie, électro-gravure et électro-placage à compléter dans la station. L'unité peut également être utilisée avec une variété de solutions chimiques, y compris des graveurs d'oxyde tamponnés, des gravants SOG et des acides, ainsi que des solutions de base. La station comprend également des dispositifs de sécurité avancés, comme une machine de porte sécurisée, des fonctions d'avertissement et d'alerte, et un outil de protection des gaz pour réduire le risque de rejet d'éléments dangereux dans l'environnement. En outre, son contrôle avancé des actifs assure un fonctionnement sûr, fiable et précis avec un minimum de temps d'arrêt. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station est un modèle puissant et polyvalent utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et d'applications connexes. Sa large gamme de fonctionnalités permet aux utilisateurs d'augmenter le débit et de réduire le temps de traitement tout en maximisant l'efficacité. Les mesures de sécurité intégrées dans l'équipement le rendent idéal pour une utilisation dans des environnements de travail dangereux et sa conception ergonomique et HMI conviviale le rendent facile à utiliser et à contrôler.
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