Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293757165 à vendre en France
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ID: 293757165
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Wet bench, 12"
Process flow: CHCL-CWS-SD2(HF)-SD2(HF)-OF-LAL(HF17%)-HQDR-SC1-HQDR-SPM
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est un type de poste de banc humide spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est destiné à être utilisé dans un environnement de salle blanche semi-conductrice, où un contrôle environnemental précis et fiable est requis pour la protection optimale des cassettes sensibles et des bateaux porte-plaquettes contre la contamination par les particules. La station humide est équipée de grappes électromécaniques précises et fiables et offre un contrôle précis de la température, de la pression et de la vitesse qui assure un alignement précis, la propreté et la fiabilité. La station comprend également une station de nettoyage humide (WCS) qui offre un environnement sûr, contrôlé et uniforme pour le nettoyage et le séchage des plaquettes. Le WCS utilise des nettoyants alcalins organiques pour contrôler avec précision les procédures de nettoyage et de séchage, tandis que le module de remplissage à sec intégré assure un séchage optimal des plaquettes. La station de nettoyage haute pression intégrée élimine encore la contamination des particules jusqu'à 3 % en une seule procédure, tout en fournissant des réglages de température exacts et équilibrés pour garantir un traitement cohérent et cohérent des plaquettes. La station humide TEL Expedius comprend également un module de traitement au four à graine et aux résines photorésistantes qui offre un traitement automatisé, efficace et cohérent des masques, résines et autres agents de traitement. Ce module offre des réglages précis de température et de pression pour le processus de gravure fine, et est également équipé de plusieurs systèmes d'essais internes. Le module de gravure et de traitement photorésist permet l'uniformité précise de la solution de gravure sur la surface de la plaquette pour des résultats de qualité constante. Le Micro-Gaz Injecteur intégré prévient en outre la contamination de la surface des plaquettes lors des étapes du processus, par l'injection précise de substances organiques volatiles spécialisées. La station offre également des limites de contaminants automatiques, précises et prédéterminées, garantissant une efficacité et une fiabilité maximales. En outre, il fournit un contrôleur numérique d'injection de gaz de précision et un système de distribution de gaz pour des performances constantes. Enfin, la station humide de TOKYO ELECTRON Expedius est équipée d'une station d'acquisition de Wafer (WAS) qui est conçue pour transférer en toute sécurité des échantillons ou des dispositifs avec une contamination minimale à des températures ultra basses. WAS intègre un mécanisme de verrouillage et un régulateur de température ultra-basse température (ULT) qui permet au processus de rester réglé avec précision en dessous de -25 ° C En conclusion, la station humide Expedius offre aux utilisateurs une méthode efficace, fiable et précise de nettoyage, gravure et traitement des plaquettes. Sa conception sophistiquée fournit aux utilisateurs une méthode tout-en-un pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs dans un environnement de salle blanche, et ses modules intégrés pour la prévention de la contamination, la température et le contrôle de la pression assurent des performances constantes.
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