Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9038418 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide pour la fabrication et le développement de semi-conducteurs. Il s'agit d'une solution polyvalente et peu coûteuse pour le traitement des composants semi-conducteurs et des plaquettes à petite échelle. Il est conçu pour une large gamme d'applications telles que la fabrication à faible coût, le dépôt en couches minces, l'imagerie lithographique, la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et la résistance au traitement. TEL Expedius utilise une plate-forme matérielle robuste et des contrôles définis par logiciel pour obtenir des performances et un débit supérieurs. TOKYO ELECTRON Expedius est équipé d'un porte-outils de précision micrométrique pour la manipulation précise des plaquettes, d'un équipement d'imagerie numérique (DIS), d'un microscope électronique à balayage (SEM) pour l'imagerie et la métrologie, d'un système d'imagerie numérique optique FEM (ODIX) pour le balayage rapide des images et d'une unité de gestion des données de processus CORNERSTONE pour l'automatisation des processus. La machine comprend également un générateur de radiofréquence à haute fréquence à fréquence variable (RF), une source de chaleur à haute puissance et un étage de mouvement X/Y à haute précision pour un traitement précis des plaquettes, ainsi qu'un outil de distribution de poudre de précision. L'actif comprend également le logiciel d'automatisation des processus SDTM-2000 pour le contrôle des processus, la surveillance des processus et l'optimisation des processus. Le logiciel est conçu pour aider à obtenir une performance globale optimale du modèle en permettant aux utilisateurs de surveiller et de contrôler les paramètres du processus, tels que la pression du gaz, le débit de gaz et la température, afin d'assurer des résultats cohérents d'une plaquette à l'autre. Expedius dispose également de fonctionnalités avancées de gestion de processus telles qu'un enregistreur de temps d'écoulement, un compteur d'événements et un journal des processus. Ces fonctionnalités permettent un suivi et une optimisation précis des processus. En outre, l'équipement supporte le chargement et le déchargement des échantillons indépendamment, ce qui augmente le débit et permet des niveaux d'automatisation plus élevés. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs, offrant des performances, une précision, une répétabilité et une évolutivité supérieures. Il fournit une solution rentable pour le traitement des composants semi-conducteurs et des plaquettes à petite échelle, et est un excellent choix pour toute application de station humide dans l'industrie.