Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9098649 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide conçue pour le processus microlithographique. Il s'agit d'une station humide tout-en-un automatisée conçue pour réduire le temps nécessaire à une variété d'étapes de traitement humide utilisées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. TEL Expedius Wet Station est livré avec une variété de fonctionnalités, telles que l'interface graphique intuitive, les recettes de processus, l'amélioration du contrôle des utilisateurs, la surveillance des processus, l'enregistrement des données, et plus encore. TOKYO ELECTRON Expedius est un système modulaire qui comprend jusqu'à trois modules de processus individuels, y compris des cuves plongeantes, des spinners et des séchoirs. Chaque module est contrôlé et contrôlé de manière indépendante pour optimiser les performances du processus. Les cuves de plongée sont conçues avec une agitation à grande vitesse pour assurer un traitement chimique homogène. Les spinners offrent une vitesse de rotation et une vitesse de distribution égales et cohérentes pour obtenir des résultats uniformes sur différentes tailles de plaquettes. Les séchoirs ont des réglages réglables du vide et de la température pour assurer un séchage précis. L'interface graphique intuitive d'Expedius permet aux utilisateurs de créer et de modifier des recettes de processus. Les recettes de processus fournissent un contrôle précis des paramètres et permettent à l'utilisateur de définir rapidement de nouvelles cibles sans effort de programmation supplémentaire. L'interface graphique fournit également des outils d'enregistrement des données et d'analyse post-processus pour documenter et surveiller la performance du processus. TEL/TOKYO ELECTRON Les capacités avancées de surveillance des processus d'Expedius Wet Station comprennent la surveillance en temps réel des paramètres clés du processus, tels que la température, l'humidité et la concentration des solutions. En surveillant ces paramètres, les utilisateurs peuvent rapidement identifier les problèmes de processus potentiels et prendre des mesures correctives pour maintenir la cohérence des résultats de la microlithographie. TEL Expedius est une solution idéale pour les organisations qui cherchent à réduire le temps et le coût du traitement de la microlithographie. Il fournit une solution conviviale et efficace qui aboutit à des résultats cohérents et de haute qualité. Avec son large éventail de fonctionnalités, son interface graphique facile à utiliser et sa surveillance avancée des processus, TOKYO ELECTRON Expedius est un incontournable pour tout laboratoire de microlithographie.