Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9190110 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide conçue pour plusieurs procédés de fabrication de plaquettes tels que la photolithographie, la gravure, les couches minces et le dépôt physique en phase vapeur. Conçue pour les petites et moyennes productions, la station humide est idéale pour le traitement de divers substrats tels que le verre, l'aluminium et le silicium. Il dispose d'un design multi-baies avec jusqu'à trois chambres de processus, et comprend une armoire à gaz de processus et un équipement de transfert de wafer. Le système de transfert de plaquettes utilise des supports sérialisés pour le transport sûr et fiable de la plaquette. La station humide TEL Expedius est équipée d'un régulateur de température avancé qui maintient la température des plaquettes dans une fenêtre prescrite. Les paramètres du processus tels que la température, la pression et le temps peuvent être ajustés à partir d'une seule interface utilisateur commune. Un certain nombre de recettes de processus peuvent être sauvegardées dans la mémoire de la station, permettant aux utilisateurs de rappeler facilement chaque recette. Avec un capteur à cristaux de quartz précis, un étalonnage automatique de la pression du procédé est possible, ce qui donne des résultats de processus hautement reproductibles. TOKYO ELECTRON Expedius station humide est conçu avec une couverture totale de processus en tête. Ses fonctions de sécurité/environnement comprennent une porte flexible de la chambre de pulvérisation, des fournisseurs automatiques de débit chimique et l'évacuation de la chambre. Une machine de gestion chimique avancée est également disponible. Pour faciliter des opérations efficaces et sûres, la station humide Expedius offre plusieurs fonctionnalités. Un robot Combi-Head offre une faible probabilité de contamination des particules lors du transfert des plaquettes. Un moniteur intégré de particules et des actifs de confinement des particules empêchent les particules d'atteindre les zones sensibles de la plaquette. La station humide comprend également une robotique de qualité industrielle, des systèmes automatiques de buse manuelle, des gestionnaires de plaquettes flexibles et des logiciels de contrôle de robot efficaces. Pour des capacités supérieures de surveillance des processus, la station humide TEL/TOKYO ELECTRON Expedius comprend un modèle de mesure laser intégré qui surveille plusieurs paramètres dans les chambres de traitement. Les enregistreurs de données, les capteurs et un équipement de déclaration intégré font également partie du paquet. Ces fonctionnalités fournissent ensemble un contrôle complet en temps réel des processus et un débogage efficace des processus. En conclusion, TEL Expedius comprend une multitude de fonctionnalités avancées qui garantissent des résultats fiables et reproductibles. Avec ses fonctions complètes de sécurité/environnement et de surveillance des processus, il offre l'une des meilleures solutions de station humide sur le marché.