Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9192012 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station de traitement humide utilisée pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs. La plate-forme est un équipement complet pour les processus post-lithographiques, du nettoyage de surface à la gravure sèche. Il dispose d'un large éventail de technologies de processus et de systèmes de haute précision. La station TEL Expedius se compose d'une unité de base, d'un chargeur de cassettes monobloc et d'un système d'interconnexion. L'unité de base est une plate-forme semi-automatisée contenant une gamme de zones de processus, allant de la gravure manuelle et du nettoyage aux étapes de dépôt automatisé, de gravure, de nettoyage et de préparation de surface. Le chargeur à cassette monobloc est la porteuse d'entrée-sortie primaire. C'est une unité de transfert de plaquettes sous vide qui peut transporter des plaquettes en toute sécurité, tout en fournissant des bouchons de plaquettes rapides et des bouchons récepteurs pour protéger les plaquettes contre l'exposition à l'environnement. La machine d'interconnexion permet le transfert de plaquettes entre les zones de processus, ainsi qu'entre les modules de processus au sein de TOKYO ELECTRON Expedius. La station humide Expedius est équipée de modules de gravure humide et de modules de gravure plasma. Les modules de gravure humide ont été développés pour fournir des taux de gravure élevés tout en maintenant la qualité et l'uniformité des gravures critiques. Les modules de gravure plasma peuvent être utilisés pour les gravures à haut rapport d'aspect, comme les gravures à contact. La station est capable de gérer les systèmes de distribution de gaz et de produits chimiques, ce qui garantit des résultats de processus cohérents et un impact environnemental minimal. Il est également équipé d'un outil de nettoyage post-gravure automatisé, qui nettoie efficacement les surfaces des plaquettes après les processus de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON La station Expedius comprend également un couloir de métrologie mécanique de précision et un couloir de métrologie atmosphérique. Le couloir de métrologie mécanique est un atout de haute précision utilisé pour mesurer les dimensions et les positions de diverses structures sur la surface du dispositif semi-conducteur. Le couloir de métrologie atmosphérique est utilisé pour surveiller et mesurer les propriétés des gaz atmosphériques dans la zone de travail immédiate. Enfin, le modèle de transport des plaquettes renouvelables simplifie le transfert des plaquettes entre les zones de processus et permet de protéger les surfaces des plaquettes contre les influences environnementales lors du traitement. L'équipement détecte automatiquement les types de plaquettes et les transporte entre les zones de traitement, ce qui permet à la station de répondre aux besoins d'un large éventail de tailles de plaquettes. Dans l'ensemble, TEL Expedius est un système complet de station humide pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs sophistiqués qui répond aux exigences des clients les plus exigeants. Il fournit un large éventail de technologies de processus et de systèmes précis, tout en maintenant un haut niveau de sécurité pour ses opérateurs.