Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9209422 à vendre en France

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station semi-conductrice humide fabriquée par la société japonaise TEL/TOKYO ELECTRON pour fournir une gamme de procédés pour la fabrication de circuits à base de silicium. Il est utilisé pour le dépôt, la diffusion et la lithographie pour créer rapidement des composants électroniques pour l'industrie des semi-conducteurs. La station TEL Expedius est une station automatisée de gravure par voie humide et de planarisation mécanique chimique et comprend plusieurs chambres, dont une chambre de gravure, un four de diffusion, une piste de lithographie, ainsi qu'une interface avec un contrôleur central. La chambre de gravure est équipée d'un générateur haute tension pour permettre la gravure isobare de zones choisies de la plaquette de substrat. De plus, la chambre utilise un système de distribution de gaz en deux étapes, un pulvérisateur d'agent de gravure chimique et un générateur d'ozone pour rendre le processus uniforme et très efficace. Le four de diffusion est capable d'effectuer un traitement à haute température jusqu'à 1100⁰C en atmosphère d'azote, pour permettre le dépôt de dopants tels que le phosphore et le bore dans la couche de silicium de la plaquette. Ce processus crée des structures de grille qui favorisent un flux de courant amélioré. La piste de lithographie permet le développement de motifs dans les plaquettes avec projection d'image haute résolution. Un faisceau d'électrons est utilisé pour générer des motifs d'interférence dans les plaquettes pour créer les caractéristiques souhaitées. La piste de lithographie peut également être utilisée pour exposer la plaquette à la lumière ultraviolette pour créer des guides d'ondes pour le passage du courant des composants électroniques. La piste de lithographie est interfacée à un certain nombre de systèmes périphériques tels que le microscope électronique à balayage, l'enregistreur de masques et les systèmes de lithographie laser au microscope électronique. TOKYO ELECTRON Expedius est conçu pour fournir une solution à haut débit à l'industrie des semi-conducteurs. Il est hautement automatisé, rentable et permet aux fabricants de créer rapidement des composants électroniques. En résumé, Expedius est une station humide systématiquement intégrée qui comprend des chambres de gravure, de diffusion et de lithographie. Il est capable de réaliser des processus de gravure et de diffusion isobares, ainsi que de développer des motifs sur les plaquettes avec une résolution précise. La station est hautement automatisée et rentable, permettant aux fabricants de fabriquer rapidement des composants électroniques.